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微机电系统设计与制造 姓 名 吕东洋 班 级 机电131 学 号 2013113042 指导教师 范梅花 2016年12月19日 电除尘器微机自动控制高低压供电装置 摘要 微机电系统（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术等密切相关，具有体积小、精度高、重量轻、性能可靠稳定、能耗低、灵敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和适于大批量生产，成本低廉等一系列优点，有巨大的应用前景和经济效益，被公认为21世纪的重点发展高科技前沿学科。本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，全书共分为，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。 关键字:传感器 加工 信息 一、概 述 GH-（V）型电除尘器微机自控高压供电装置是GH-III电除尘器微机