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X射线光电子谱(XPS)X-ray Photoelectron Spectroscopy XPS ? 引言 X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。 X射线光电子能谱是瑞典Uppsala大学K.Siegbahn及其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方法。他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。 XPS ? 引言 K.Siegbahn给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，简称为“ESCA”，这个名词强调在X射线电子能谱中既有光电子峰也包含了俄歇峰，在分析领域内广泛使用。 随着科学技术的发展，XPS也在不断地完善。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。 XPS ? 光电效应 当入射光子的能量hν明显超过原子的芯电子束缚能Eb时，可引起光电子发射。 光电子的动能EK取决于： 入射光子的能量hν 谱仪的功函数Φsp 芯电子束缚能Eb EK= hν- Eb - Φsp XPS ? X射线光电子谱仪 XPS ? X射线光电子谱仪 在一般的X