第三章 褂脞电传感与检测器件1.ppt

光电传感与检测技术 ;第 3 章 半导体光电检测器件及应用; 真空光电器件是基于外光电效应的光电探测器，它的结构特点是有一个真空管和一个光电阴极，光电阴极和其它元件都放在真空管中。 真空光电器件包括光电管和光电倍增管。;光照灵敏度;（2） 量子效率 阴极发射的光电子数 Ne (λ)与入射的光子数 Np (λ)之比，称为量子效率: Q (λ) = Ne　(λ)/ N p　(λ);光电阴极一般分为透射型与反射型两种：; ① Ag-O-Cs具有良好的可见和近红外响应。 透射型光谱响应: 300nm到1200nm， 反射型光谱响应: 300m到1100nm。 Ag-O-Cs光电阴极主要应用于近红外探测。 ② 单碱锑化合物(PEA) 以金属锑Sb与碱金属如锂、钠、钾、铯中的一种构成的化合物， 都是能形成具有稳定光电发射的发射材料， CsSb最为常用，在紫外和可见光区的灵敏度最高。 ③ 碱锑化合物(PEA) 是指锑Sb和几种碱金属形成的化合物，包括双碱锑材料Sb-Na-K、Sb-K-Cs和三碱锑材料Sb-Na-K-Cs等，Sb-Na-K-Cs是最实用的光电阴极材料，具有高灵敏度和宽光谱响应，其红外端可延伸到930nm。 ④ 负电子亲合能材料(NEA) 它们的真空能级降到导带之下，从而使有效的电子亲和势变为负值， 这种材料称作负电子亲和势光电阴极材料。; 在某些应用中，要求光电阴极材料只对所探测的紫外辐射灵敏，对可见光无响应。这种材料通常称为“日盲”型光电阴极材料，也称紫外光电阴极材料。 目前实用的紫外光电阴极碲化铯(CsTe)和碘化铯(Csl)两种。 ; 光电管是一个抽真空或充惰性气体的玻璃管，内部有光阴极、阳极，光阴极涂有光敏材料，当光线照射在光敏材料上时，如果光子的能量E大于电子的逸出功A（E＞A），会有电子逸出产生电子发射。电子被带有正电的阳极吸引，在光电管内形成电子流，电流在回路电阻 R上产生正比于电流大小的压降。;主要用于：分光光度计、 光电比色计等分析仪器 和各种自动装置 。;光电管主要由玻壳（光窗）、光电阴极和阳极三部分组成; (a)侧窗式 (b)端窗式 图5-7 光电倍增管类型; (a)侧窗式 (b)端窗式 图5-7 光电倍增管类型; (a)侧窗式 (b)端窗式 图5-7 光电倍增管类型;（Ⅱ） 常用的窗口材料 ; 电子光学系统是指阴极到倍增系统第一倍增极之间的电极空间，其中包括光电阴极、聚焦极、加速极及第一倍增极。 电子光学系统的主要作用有两点：; 倍增系统是由许多倍增极组成，每个倍增极都是由二次电子倍增材料构成的，具有使一次电子倍增的能力。倍增系统决定整管灵敏度。; ; 光电倍增管中的倍增极一般由几级到十五级组成。根据电子的轨迹又可分为聚焦型和非聚焦型两大类。 ;（a）鼠笼式 (b) 盒栅式 (c) 直线聚焦型 (d) 百叶窗式 (e) 近贴撮网式 (f) 微通道板式;光电倍增管的性能不仅取决于倍增极的结构类型，还取决于光电阴极尺寸和聚焦系统。 ; 阳极的作用是收集从末级倍增极发射出的二次电子。最简单常用的阳极是栅状阳极。栅状阳极的输出电容小，阳极附近也不易产生空间电荷效应。 ;如右图所示：; 为了使光电子能有效地被各倍增极电极收集并倍增，阴极与第一倍增极、各倍增极之间以及末级倍增极与阳极之间都必须施加一定的电压。最普通的形式是在阴极和阳极之间加上适当的高压，阴极接负，阳极接正，外部并接一系列电阻，使各电极之间获得一定的分压，如图所示 。;几种光电倍增管的外形 ;（3）光电倍增管的主要特性参数;(Ⅱ)　阴极灵敏度;　　光电倍增管倍增极的二次电子发射系数，是倍增极间电压的函数，有以下关系;　　　光电倍增管的暗电流是指在施加规定的电压后，在无光照情况下测定的阳极电流。暗电流决定了光电倍增管的极限灵敏度。 暗电流来源可归纳为三类： 阴极或其他零件的热发射、极间欧姆漏电、残余气体以及场致发射等的再生效应。;暗电流的产生与电源电压有密切关系，如下图所示 ;　光电倍增管的噪声主要有光电器件本身的散粒噪声和热噪声、负载电阻的热噪声、光电阴极和倍增极发射时的闪烁噪声等。散粒