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扫描电子显微技术 2012年3月 扫描电镜是近几十年来才完善起来的一种光学仪器,可对较大试样进行原始表面观察,可对试样进行形貌、成分、晶体学、阴极发光、感应电导等方面的分析。 在试样室内加入冷却、加热、弯曲、离子腐蚀等附件，可进行动态观察。 目前，透射扫描电镜的分辨率已达5?，表面扫描电镜二次电子象以优于60? 一、扫描电镜的特点 1、仪器分辨本领较高，分辨率可小于5?。 2、仪器放大倍数变化范围大（一般为10~150000），且连续可调。 3、观察式样景深大，富有立体感 4、样品制备简单 5、图象质量容易控制 二、扫描电镜的电子与物质的相互作用 当高能入射电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，有99%以上的入射电子能量转变为电子热能，而余下的1%入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，主要有： 二次电子：从距样品表面100 ?左右深度范围内激发出来的低能电子 背散射电子：从距样品表面0.1~1μm深度范围内散射回来的入射电子，其能量近似入射电子的能量。 透射电子：透过样品的电子 吸收电子：残存在样品中的入射电子。 俄歇电子：从距样品表面几?深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子。 X射线：从样品原子内部发射出来的具有一定能量的特征X射线，发射深度为0.5~5μm范围。 阴极荧光：入射电子束轰击发光材料时，从样品中激