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溶胶_凝胶法制备光学减反射膜的研究进展_肖尧
第３ 卷 第 期 材 料 科 学 与 工 程 学 报 总第 期
４ ５ １６３
Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．５ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅ＆ Ｅｎ ｉｎｅｅｒｉｎ Ｏｃｔ．２０１６
ｇ ｇ
文章编号： ２ （ ） ０ ０
１６７３ ８１２２０１６０５ ８３６ ８
－ － －
胶
溶 凝胶法制备光学减反射膜的研究进展
－
， ， ，
肖 尧 陈 烁 乔旭升 樊先平
（ ， ， 江杭州 ）
硅材料国家重点实验室 浙江大学材料与工程学学院 浙 ３
１００２７
【 】 减反射膜 ，
摘 要 可以有效降低光在传播过程中的损耗 应用在太阳能电池中能有效提高能量
。 ，
利用效率 减反射膜是一层折射率介于空气和基板之间的光学薄膜 能减少或消除光学元件表面的反
， ， 。
射光 从而增加透光量 因此在光学研究中占有重要地位 溶胶凝胶法是当前材料制备的重要手段之
， 、 、 ， 。
一 与其他方法相比具有产物均匀 反应温度低 可调控性强等显著优点 是制备减反射膜的理想方法
凝胶法 ， 凝 ，
本文介绍了溶胶 制备减反射膜的原理 综述了近年来溶胶 胶法制备减反射膜的研究进展 特
－ －
凝胶法制备的三 ， ，
别是对溶胶－ 类典型减反射膜作了深入讨论 总结了各种不同结构的优缺点 展望了溶
胶 凝胶制备减反射膜的前景和面临的挑战。
－
【 】 ； 凝 ； ；
关键词 减反射膜 溶胶 胶法 纳米结构 透过率
－
中图分类号： 文献标识码： ： ／ ２
Ｂ３４ ＯＩ １０．１４１３６ ．ｃｎｋｉ．ｉｓｓｎ １６７３ ８１２．２
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