一种提高扫描电子显微镜_能谱空间分辨率的方法_黎爽.pdfVIP

34 3 电 子 显 微 学 报 Vol. 34 ，No. 3 第 卷第 期 2015 6 2015-06 年 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 文章编号:1000-6281 (2015)03-0240-10 － 一种提高扫描电子显微镜 能谱空间分辨率的方法 1 1 1* 2 * ， ， ， 黎 爽 邓平晔 蔡 锴 杨俊佼 ( 1． ， 100089 ; 2 ． ， 100029) 北京市理化分析测试中心 北京 北京化工大学 北京 : ， － ( SEM-EDS) ， 摘 要 目前 扫描电子显微镜 能谱 联用技术在分析测试领域已得到广泛应用 它可对材料和生物 ， 。 ， 样品的微观表面进行形貌观察 并对样品中所选定的微区内进行元素成分定性定量以及元素分布分析 但是 由 X ， ， ， 于元素的特征 射线能量高 在样品中的出射范围较深 能谱的空间分辨率较差 导致在使用传统制样方法时都不 X X ， 。 可避免地会受到来自叠加样品特征 射线以及基底材料特征 射线的干扰 从而影响最终实验结果 为了克服能 ， ， ， 谱空间分辨率不足的问题 本文应用薄片法的原理研制了一种新的装置 将纳米厚度的样品分散在装置的碳膜上 。 ， 2 ～ 4 。 进行能谱分析 通过与传统实验的对比 附加新装置后其能谱空间分辨率较以往常规实验提高了 倍 : － ; X ; ; ; 关键词 扫描电子显微镜 能量色散谱仪 特征 射线 空间分辨率 覆碳膜打孔碳棒 纳米颗粒材料 中图分类号:TN16; TB383; TG115. 21 + 5. 3 文献标识码:A doi :10. 3969 /j ． 1000-6281. 2015. 03. 010 ， 入射电子在接触到样品后 在弹性散射和非弹 性散射的共同作用下使电子原先的运动轨迹发生改 ［1］ ， 。 变 从而产生呈水滴状体积范围的相互作用区 电子束加速电压以及样品原子序数的不同会改变此 ［2］ ， 。 区域的大小 但其形状不会发生变化 在相互作 ， 用区内会产生各种信号 这些信号产生的相互作用 ( ) 区 信号出射