薄膜制备与表面分析04.ppt

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薄膜制备与表面分析04

Qing-Yu Zhang State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams UPS ?? 引言 紫外光电子谱是近二十多年来发展起来的一门新技术,它在研究原子、分子、固体以及表面/界面的电子结构方面具有独特的功能。由紫外光电子谱测定的实验数据,经过谱图的理论分析,可以直接和分子轨道的能级、类型以及态密度等对照。因此,在量子力学、固体物理、表面科学与材料科学等领域有着广泛地应用。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS谱仪 紫外光电谱的理论基础仍然是光电效应,UPS谱仪的设计原理与XPS谱仪基本一样,只是将X射线源改用紫外光源作为激发源。 UPS谱仪主要有两种类型,一种是适用于气体UPS分析的,一种是用于固体UPS分析的。 UPS谱仪中所用的紫外光是由真空紫外灯提供的。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS谱仪 用于产生紫外光的气体一般是He, Ne等。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS谱仪 He I线是真空紫外区中应用最广的激发源。这种光子是将He原子激发到共振态后,由2P(1P)?1S(1S)跃迁产生的,其自然宽度仅几个meV。He的放电谱没有其它显著干扰,可不用单色仪。 另一种重要的紫外光源是He II线,He II线He在放电中由离子激发态的退激发放出的光子。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS谱仪 在产生He I的条件下,通常产生很少的He II线。为了得到He II线,可扩大阴极区的体积,降低工作气体压强,使放电区存在较多的He+。 通常He I产生时,可看到淡黄的白色,而He II产生时,呈淡红蓝色。 同步辐射源也用于紫外光电子谱的激光源。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS一般特征 因为Ar分子最外层是封闭价电子壳层为P6。当一个电子被激发后,外壳层变为P5。由自旋角动量和轨道角动量耦合有2P3/2和2P1/2,在光电子能谱图上表现为两个锐峰。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS一般特征 H2分子仅有两个电子,占据在?分子轨道上,因此只产生一条谱带。而谱带中的一系列尖锐的峰,是电离时激发到H2+的不同的振动状态产生。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS一般特征 N2分子的电子组态为: N2(1?g)2(1?u)2(2?g)2(2?u)2(1?u)2(2?u)2(3?g)2 其中,1?u 和2?u 是简并能级。从外壳层到内壳层,可电离的占据分子轨道能级的次序为?g , ?u和?u等。从这些轨道上发生电子电离,则得到的离子的电子状态分别为2?g+, 2?u+,2?u+,对应于图中的三条谱带。谱峰线产生于离子的振动能级的不同激发。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS一般特征 (CH3)3N是一个多原子分子,除在8.4 eV附近有一条明显的谱带对应于N原子的弧对非键电子的电离外,其余的谱带因相互重叠而无法清楚地分辨,至于振动峰线结构更是难以区分。 UPS ?? UPS一般特征与UPS谱仪 UPS一般特征 在光电子能谱仪中,通过能量分析器可以把不同动能的光电子分开,从而得到紫外光电子谱。 由于稀有气体的谱线很锐,有准确的位置和明显的特征,可用于标准定标线。 UPS ?? UPS基本原理 振动结构 对于小分子或对称性高的较大分子,紫外光电子谱常会出现精细的振动谱线,甚至转动,平动结构。 这些振动谱线结构中蕴藏着许多重要的信息,如:电离时分子的几何构型的变化,电离电子的成键特性等。 UPS ?? UPS基本原理 振动结构 当光子激发一个光电子后,因留下一个可能处于振动,转动及其他激发状态的离子,因此光电子的动能为: Ek = h? ? EB ? Er ? Ev ? Et 其中Ev为振动能,Er为转动能,Et为平动能。 UPS ?? UPS基本原理 振动结构 双原子分子的势能曲线。最下边的代表基态的势能曲线,中间的代表某一个离子态,它的平衡几何构型与基态接近。最上边的代表几何构型发生较大改变的离子态。 UPS ?? UPS基本原理 振动结构 H2, HD和D2分子的光电谱图,表现了由于振动状态的不同而出现的谱峰的变化。 UPS ?? UPS基本原理 自旋-轨道耦合和Jahn-Teller效应 如果电子从分子的一个完全占据的简并能级上电离,将得到对应于离子的轨道简并的多重态。这种轨道能级的简并,可以由以下两种原因而消除: 未成对电子的自旋与轨道间相互作用对能量的贡献,使能级发生分裂,这就是自旋—轨道耦

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