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2017-05-20 发布于浙江
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采用光栅成像原理的光栅位移传感器

维普资讯 F 第 12期仪表技术与传感器 5 采用光栅成像原理的光栅 1 蔓壁璺江苏省广播电视大学南京市 2 摘【要】的光栅成像叙词：光栅 A onthePrincipleofGratingImaging ．。。一 JiangJingqi JiangsuRadio＆TVUniversit，Nangiing3tom#, ^ Abstract：Inaccordancewiththeprinciple。fgratingimhglng ．anoOelgritting displacementtransducerisdemonstrgtedinthepaper．Thetransducerwillbemore simpleinitsstructurecomponentsandcanBeused协 tF1i~的ndition。flargegrating gap·Thetheoryanaiys~aM experimentsofthetransduceraregiVen indetailin ．, ．． thepaper． KeyWords：Grating ，Displacement,Measurement．、：．一、引言一光栅的奠尔条纹技术已被广拦地应用于精密测试技术中，并为精密测量与控制的自动化、数字化开创了一条途径。但在目前应用的光栅位移传感器中，要求光栅系统的工作间隙不能太大，而莫尔条纹信号对光栅间隙的变化敏感，并且系统需以准直光源照明。这些因素对信号的质量影响很大，而且随着所使用的光栅线密度的增大，系统对这些条件的要求也愈加严格。而基于光栅成像理论研究的光栅成像型位移传感器具有能在大光栅间隙下工作，，且间隙变化对奠尔条纹信号影响较少，同时系统本身具有奠尔条纹的光学倍频作用。不需要准直光源照明的特点，这些独特的优越性正在吸引人们的关注图 j 1L何光学成像原理圉维普资讯 6 仪表技术与传感器