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第 卷增刊 半 导 体 学 报
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磁控溅射方法制备$ ( 纳米多层膜及表征#
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黄 阀 李宝河 杨 涛 翟中海 朱逢吾
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*金日成综合大学物理系 平壤 朝鲜
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0北京工商大学数理部 北京 ,+++0)
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摘要 采用磁控溅射方法制备了性能优良的以 为缓冲层的 纳米多层膜 研究了溅射气压对
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% 纳米多层膜的微结构和磁性的影响 结果表明$ 溅射气压对# . % 纳米多层膜的微结构’垂直磁各向
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异性和矫顽力有很大的影响 所有样品的有效各向异性常数 具有垂直磁各向异性 射线衍射结果显示
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小角衍射峰很锐 样品有良好的周期性层状结构 随着 溅射气压增加 样品垂直膜面的矫顽力增加 但样品有效
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磁各向异性常数减小
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