硅麦克风硅基驻极体电容话筒.pptVIP

使用时光波经过发送光纤耦合到波导芯片中 通过这个波导发送的光波带有斜坡的硅隆起部分收集，并且耦合到接收光纤中去 声波调制着空腔波导的高度，并因而造成光波幅度和相位的变化，它的频率响应直到大约4kHz是平坦的，灵敏度为0.033弧度/pa 原型等效噪声级46dB 声波（声压） 振动（源信号） 对振动特性检测，接收（不拘泥于形式） 转换成电流（或其它）信号（目标信号） 传输至目标 转化为声音 光麦小品 振膜+衬底+背极 （透明玻璃或者蓝宝石作衬底） 下电极刻蚀成衍射条光栅 原理：入射光照射衬底，通过光栅产生衍射条纹，检测衍射条纹的变化直接得出振膜位移。 关键在于： 如何检测，接收衍射条纹的变化 检测装置的原理和生产工艺将是最大的难题和成本考虑！ 结束语 不经历磨难的成功是肤浅的 谢谢！ 硅麦克风（硅基驻极