飞秒激光和块状透明材料作用时信号检测.pdfVIP

飞秒激光与块状透明材料作用时信号检测1 1，2 2 2 2 2 倪晓昌 ，王清月 ，柴路 ，贾威 ，章若冰 1 天津工程师范学院电子工程系，天津（300222 ） 2 天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室，天津（300072 ） Email ：nixiaochang@ 摘 要：采用侧向检测法监测飞秒激光与块状透明材料相互作用过程。研究了聚焦点在材料 内部不同深度时对材料烧蚀结果的影响：聚焦点在材料表面以下一定深度时，脉冲能量主要 向纵向深度传输；聚焦点在材料表面以下浅层时，脉冲能量纵向传输同时，反冲作用的存在， 使得材料表面发生拱起现象；接近表层时，拱起现象消失。实验对上述现象给出了合理解释， 同时观察到等离子产生过程以及飞秒激光脉冲在材料内产生的一些非线性现象。 关键词 飞秒激光，侧向检测，脉冲累积效应，等离子体，自陷，自聚焦 中图分类号：TN24 1. 引言 [1-2] 最近几年，超短脉冲激光越来越多的被应用于材料微纳加工的研究 。由于其具有非 12 2 常高的激光场强（10 w/cm ），非常短的脉冲宽度，以及非接触加工等特性，超短脉冲激 光在微加工领域表现出了对材料的精确加工特性及其高加工效率，甚至在透明材料内打点、 划线以及微电子、微光学器件等的刻划。电介质作为一种宽带系材料，在微纳米技术中扮演 着非常重要的地位。用超短激光脉冲对电介质材料进行微加工是一种颇具应用前景的新的研 [3] 究领域，它的独特优点包括：材料的精确微搬移；无熔融区；亚微尺寸加工；高纵横比等 。 利用上述特性，超短激光脉冲与电介质相互作用的理论、实验研究已经成为激光应用领域的 [4－7] 重要研究热点之一 。 对宽带系材料，如：金刚石、玻璃、塑料、陶瓷以及液体等，在低激光场强时表现出很 小的吸收，要想达到烧蚀目的，通常需要一个光学损伤过程，使得激光能量更有效地传递给 材料。由于超短脉冲宽度极窄，峰值功率很高，使聚焦体积的分子由于多光子吸收而同时产 生大量的自由电子，迅速形成等离子体。自由电子通过碰撞或反轫致辐射，吸收脉冲能量， 达到烧蚀。 BulkBulk 本文在上述研究基础上，采用侧向探测法监测飞秒 MaterialMaterial 激光与块状有机玻璃（PMMA ）相互作用过程。对聚焦 ShutterShutter 3D3D 点在材料表面以下不同深度时产生的实验现象进行了分 fsfs LaserLaser StageStage 析，同时对飞秒激光在材料内产生的自聚焦、自陷等非 ObjectiveObjective LensLens 线性现象进行了监测。 MonitorMonitor 2. 实验装置 CCDCCD 实