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材料物理综合实验 实验指导书 福建师范大学 物理与能源学院 2016-9-29 实验6 TiO2薄膜的制备和微细加工 一、实验目的 本实验为综合设计性实验，目的是培养学生的综合运用专业知识能力、发现问题、分析问题以及实践解决问题能力，通过本实验教学要求达到如下具体目的： 1. 用溶胶-凝胶法法制备TiO2光学薄膜； 2. 学习紫外掩膜辐照光刻法制备TiO2微细图形； 3. 微细图形结构及形貌分析表征。 二、实验内容 本综合设计实验是在教师指导下，学生自主设计实验方案，独立完成TiO2溶胶及其凝胶薄膜的制备、微细图形的加工及结构和形貌表征等实验过程，昀后对实验数据进行分析和处理，写出实验报告。本实验具体分为如下几个阶段： 了解溶胶-凝胶制备薄膜的原理； 了解常见的微细加工方法； 充分调研文献资料，确定实验方案； 实验制备和数据分析。 (1) 制备出感光性的TiO2凝胶薄膜，掌握制备工艺； (2) 对TiO2凝胶薄膜进行紫外掩膜辐照； (3) 制备出TiO2微细图形并进行热处理； (4) 测试TiO2微细图形的结构和形貌特征，处理并分析数据。 三、实验仪器设备和材料清单 1. 紫外点光源、马弗炉、提拉机、光学显微镜、磁力搅拌器，紫外-可见光分光光度计，台阶仪等。 2. 提供制备TiO2材料的前驱物，溶剂等。 四、实验过程 在教师指导下学生查阅有关文献，了解溶胶-凝胶制备薄膜的原理和光刻成型技术原理； 设计TiO2薄膜的制备工艺，交指导教师审查； 在教师指导下，遵循实验设计工艺进行溶胶和薄膜制备； 在教师指导下，进行微细图形加工； 对微细图形进行结构和形貌分析表征； 总结实验结果，撰写实验报告。 五、实验要求 1 实验之前仔细阅读设备使用手册，遵守安全操作规则； 2 实验之前认真撰写实验方案，经教师许可后方可进行实验； 3 可将实验分解为文献调研、溶胶和凝胶薄膜制备、微细加工和性能测试分析四个阶段，但要求制定具体的实验安排。 六、实验报告格式及要求（另附） 注意以下几点： 1 每个学生必须独立撰写实验报告； 2 实验报告必须附上原始实验记录和实验参数； 3 实验报告必须在总结实验结果的基础上提出实验改进方案。 七、思考题 1 根据紫外吸收峰测试，讨论所合成的感光薄膜的光分解特性； 2 根据微细加工实验过程，讨论影响制备图形质量的因素，并提出改善的可行性方案。 八、参考文献 【1】盛永刚，徐耀，张磊等，溶胶-凝胶法制备高折射率TiO2薄膜[J]，强激光与粒子束，2008，1：:7-78 【2】顾少轩，周静，刘静等，溶胶-凝胶法制备锐钛矿型TiO2薄膜[J]，硅酸盐通报，2001，4：19-21 【3】王国清，溶胶凝胶法制备TiO2薄膜及其Nb掺杂研究[D]，兰州大学，2011年 【4】王哲哲，赵高扬，张晓磊等，硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备[J]，光子学报，2009，9：2214-2218 实验7 Cu2ZnSnS4薄膜的制备及性能研究 一、实验目的 本实验为综合设计性实验，目的是培养学生的综合运用专业知识能力、发现问题、分析问题以及实践解决问题能力，通过本实验教学要求达到如下具体目的： 了解Cu2ZnSnS4薄膜太阳能电池的工作原理； 独立制备出Cu2ZnSnS4薄膜，初步研究化学组分与薄膜结构、形貌、性能之间的关系； 学会薄膜结构、形貌和光学性能的表征方法，掌握材料结构分析的基本知识； 掌握实验数据处理方法，并能利用Origin绘图软件对实验数据进行处理和分析。 二、实验内容 本综合设计实验是在教师指导下，学生自主设计实验方案和参数，独立完成Cu2ZnSnS4薄膜的制备、性能分析整个实验过程，最后对实验数据进行处理，写出实验报告。本实验具体分为如下几个阶段： Cu2ZnSnS4薄膜太阳能电池基本知识的讲解 通过任课教师讲解，了解Cu2ZnSnS4薄膜太阳能电池的发展现状，熟悉并掌握氧化物纳米颗粒法制备Cu2ZnSnS4薄膜的实验方案。 实验制备和数据分析 (1) 制备出Cu2ZnSnS4薄膜，掌握制备工艺； (2) Cu2ZnSnS4薄膜结构、形貌和光学性能进行分析； 三、实验仪器设备和材料清单 试剂：硝酸铜、硝酸锌、草酸亚锡、碳酸氢铵。 四、实验 在教师指导下学生查阅有关Cu2ZnSnS4薄膜太阳能电池工作原理； Cu2ZnSnS4薄膜的制备方法，交指导教师审查； 在教师指导下，按照实验工艺进行Cu2ZnSnS4薄膜的生长； 在教师指导下对Cu2ZnSnS4薄膜的结构、形貌和光学性能进行测试分析； 总结实验结果，撰写实验报告。 五、实验 实验之前仔细阅读设备使用手册，遵守安全操作规则； 实验之前认真撰写实验方案，经教师许可后方可进行实验； 可将实验分解为文献调研、Cu2ZnSnS4薄膜制备、性能