原子力显微镜实验指导书.pdf

原子力显微镜实验 一、引言 在当今的科学技术中，如何观察、测量、分析尺寸小于可见光波长的物体，是一个重要 的研究方向。1982 年，G. Binnig 和H.Rohrer 在IBM 公司苏黎世实验室共同研制成功了第 一台扫描隧道显微镜(scanning tunnelling microscope，STM)，使人们首次能够真正实时 地观察到单个原子在物体表面的排列方式和与表面电子行为有关的物理、化学性质。1986 年，Binnig 和Rohrer 被授予诺贝尔物理学奖。但STM 要求样品表面能够导电，从而使得STM 只能直接观察导体和半导体的表面结构。为了克服STM 的不足之处，Binnig、Quate 和Gerber 决定用微悬臂作为力信号的传播媒介，把微悬臂放在样品和STM 的针尖之间，于1986 年推 出了原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)，AFM 是通过探针与被测样品之间微弱 的相互作用力来获得物质表面形貌的信息，因此，AFM 除导电样品外，还能够观测非导电样 品的表面结构，其应用领域更为广阔，除物理、化学、生物等领域外，AFM 在微电子学、微 机械学、新型材料、医学等领域都有着广泛的应用。以STM 和AFM 为基础，衍生出了一系列 的扫描探针显微镜(SPM)，有激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)等。扫描探针显微镜主 要用于对物质表面在纳米级上进行成像和分析。 二、实验目的 (1) 了解原子力显微镜的工作原理。 (2) 初步掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法。 三、实验原理 1.基本原理 AFM是利用一个对力敏感的探针针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的，工作 原理如图1所示。将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖， 针尖与样品的表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的作用力 -8 -6 （10 ～10 N），微悬臂会发生微小的弹性形变。针尖和样品之间的力F与微悬臂的形变△z 之间遵循胡克定律（Hooke Law） F = k ·△z 其中，k为微悬臂的力常数。测定微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力 的大小。针尖与样品之间的作用力与距离有着强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈 回路保持针尖和样品之间的作用力恒定，即保持微悬臂的形变量不变，针尖就会随表面的起 伏上下移动。记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种检测方式被称为 “恒力”模式（Constant Force Mode），是AFM使用最广泛的扫描方式。 AFM 的图像也可以使用“恒高”模式（Constant Height Mode）来获得，也就是在x、y 扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与参考水平面之间的距离恒定，检测器直接测量微 悬臂z 方向的形变量来成像。这种方式由于不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通 常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏较大的样品不适合。 图1 AFM 原理示意图 2. AFM 的工作模式 当AFM 的针尖与样品表面原子相互作用时，通常有几种力同时作用于微悬臂，其中最主 要的是范德瓦尔斯力(Van der Waals forces)。针尖与样品表面原于间的范德瓦尔斯力与距 离关系曲线如图2 所示。当针尖与样品表面原子相互靠近时，它们先互相吸引，随着两者间 距继续减小，两者之间的排斥力将开始抵消吸引力，直到间距为几个埃时，两个力达到平衡。 间距更小时，两者之间以排斥力为主。如果让针尖与样品处于不同的间距，则可使AFM 处于 不同的工作模式。AFM 的工作模式主要有接触模式（Contact Mode ）、非接触模式 （Non-Contact Mode ）和轻敲模式（Tapping Mode ）。根据样品表面不同的结构特征和材料 的特性以及不同的研究需要，选择合适的工作模式。 图2 针尖与样品表面原子间的范德瓦尔斯力与距离关系曲线 （1）接触模式 接触模式是AFM 的常规工作模式。如图3 （a），在接触模式中，针尖始终和样品接触， 以恒高或恒力的模式进行扫描。扫描过程中，针尖在样品表面滑动。通常情况下，接触模式 都可以产生稳定的、分辨率高的图像。但