半导体材料器件生产工艺中废气废水的综合治理方法及设备的研究.pdfVIP

2001 年 2 月 中国工程科学 Feb2001 第 3 卷第 2 期 Engineering Science Vol 3 No 2 研 究 报 告 半导体材料器件生产工艺中废气废水的 综合治理方法及设备的研究 闻瑞梅 , 杜国栋 ( 同济大学 , 上海 　200092) [摘要] 　针对半导体材料 、器件生产工艺中的废气和废水的治理 , 介绍了三种不同的方法和相关设备 。①利 用碘盐 、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室 MOVPE 工艺尾气及砷化镓材料制备中砷烷 、磷烷污染 的治理 。②生产规模的半导体材料砷化镓 , 磷化姻 , 重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中 , 腐蚀间排放的废气中 砷 、磷 、硫 、氟 、氯及氮氧化物酸根离子的治理 。用椭圆隔板式喷淋吸收塔或双塔式喷淋吸收设备 , 用氧化剂