基于MEMS传感器的高精度调垂用倾角仪设计.pdfVIP

基于MEMS传感器的高精度调垂用倾角仪设计 陈峰军’ 王佳玮 徐 技 黄 海 周泉吉 沈 1．上海建工集团股份有限公司 上海 200080；2．上海西派埃 自动化仪表工程有限责任公司 上海 201612 摘耍：针对逆作法施工中的倾角测量问题，设计了一款基于MEMS双轴倾角传感器的高精度、高稳定度的倾角测量系 统。系统的控制器型号为C8051F350，软件采用完善的温度补偿算法，测量精度达到1／1000。同时，该系统具备无线 通信功能。能够使用便携式触摸屏、电脑和智能手机作为人机界面，在逆作法施工中取得了良好的效果。 关键词：倾角传感器；高精度；温度补偿；无线通信 中图分类号：TU19 文献标志码：B DOI：10．141444．cnki．jzsg．2016．04．043 DesignofHighPrecisionInclinometerUsedforAdjusting VerticalityBasedonMEMSSensor CHENFengjun’WANGJiawei XUTao HUANGHal ZHOUQuanji’ SHENWen’ 1．ShanghaiConstructionGroupCo．，Ltd． Shanghai 200080； 2．ShanghaiSIPAIAutomaticInstrumentEngineeringCo．．Ltd． Shanghai 201612 1 MEMS倾角传感器 绝缘体 固定极板 MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)即微电子机 质量块 械系统，是集微传感器、微执行器、微型机以及信号处理 簧片 和控制电路、接口、通信等单元于一体的可以感知外界信 息 (力、光、磁、化、热等)的微型器件或微型系统[1】。 壳体 基于微电子机械系统的高精度双轴倾角传感器，具有 固定极板 低温漂、高分辨率、低噪声的优点，它可同时测量相对于 图1加速度传感器结构 水平面的倾斜和俯仰角度 ，测量范围为-30~～+30o。其 内部包含硅电容感应元件、EEPROM存储器、信号调理电 当传感器静止并且其灵敏轴与水平面倾角为 时，传 路、A／D转换器、温度传感器和SPI传输接口等。由于其内 感器测出的加速度值为重力的分量a_gs·ina。通过反正弦 部的过阻尼设计，对振动不敏感，最高可承受20o0眙冲 公式可得出倾斜角度： =arcsin(aJg)。 击，非常适合用于高精度倾角测量系统。 倾角传感器输出为电压模拟量，在软件中需要使用式 MEMS倾角传感器内部的感应元件为硅微电容式固态 (1)把模拟量转换为角度： 加速度传感器。传感器内部有1个对加速度敏感的质量块， ． f‰ 。Offset＼ 这个质量块通过具有弹性的悬臂簧片固定在敏感器壳体 arcsin＼I-b=—en_slt_lv-lty J／ (1) 上，质量块的上方和下方分别设置1个电极板，它们与质量 式中：OffSet——倾角传感器在0o倾斜位置的输出电压 块相隔很窄的、相等的间隙，这2个极板分别与质量块形成 值，2．5v； 1个相等的电容，当壳体在沿着这个质量块的上下方向产生 Sensitivity_— 角传感器的