激活能测试装置设计及微晶硅薄膜激活能测试-山东大学学报(工学版).PDF

　第４０卷　第４期 山　东　大　学　学　报　（工　学　版） ２０１０年８月　 　 　　 Ｖｏｌ．４０　 Ｎｏ．４　　　　　ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ（ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＳＣＩＥＮＣＥ） Ａｕｇ．２０１０　 　文章编号：１６７２３９６１（２０１０）０４０１４９０４ 激活能测试装置设计及微晶硅 薄膜激活能测试 １ １ ２ ２ 陈庆东 ，王俊平 ，张宇翔 ，卢景霄 （１．滨州学院物理与电子科学系，山东 滨州２５６６０３； ２．郑州大学材料物理教育部重点实验室，河南 郑州４５００５２） 摘要：为了分析微晶硅薄膜的本征特性，设计了激活能测试装置。测试装置包括测试平台、真空系统和加热控制 系统。同时给出激活能计算方法，并对不同电压、不同取点个数对激活能测试的影响进行分析。分析结果表明， 不同测试电压对激活能测试结果影响很小，不同取点个数计算的激活能差别也很小。 关键词：微晶硅；激活能；测试装置 ＋ 中图分类号：ＴＮ３０４１２　　　文献标志码：Ａ Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎｏｆａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｏｆ ｍｉｃｒｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｔｈｉｎｆｉｌｍｓ １ １ ２ ２ ＣＨＥＮＱｉｎｇｄｏｎｇ，ＷＡＮＧＪｕｎｐｉｎｇ，ＺＨＡＮＧＹｕｘｉａｎｇ，ＬＵＪｉｎｇｘｉａｏ （１．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＳｃｉｅｎｃｅ，ＢｉｎｚｈｏｕＣｏｌｌｅｇｅ，Ｂｉｎｚｈｏｕ２５６６０３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭａｔｅｒｉａｌＰｈｙｓｉｃｓ，ＺｈｅｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ４５００５２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｑｕｉｐｍｅｎｔｗｅｒｅｄｅｓｉｇｎｅｄｔｏａｎａｌｙｓｉｓｔｈｅｉｎｔｒｉｎｓｉｃｐｒｏｐｅｒｔｙｏｆｍｉｃｒｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎｆｉｌｍ．Ｔｈｅｅｑｕｉｐｍｅｎｔｉｎｃｌｕｄｅｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｐｌａｔｆｏｒｍ，ｔｈｅｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍａｎｄｈｅａｔｉｎｇｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｏｆｅ ｑｕｉｐｍｅｎｔ．Ｔｈｅｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｗａｓａｌｓｏｐｕｔｆｏｒｗａｒｄ．Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｖｏｌｔａｇｅｓａｎｄｄｉｆ ｆｅｒｅｎｔｄｏｔｎｕｍｂｅｒｓｏｎｔｈｅａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｍｅａｓｕｒｉｎｇｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｂｏｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｖｏｌｔａｇｅａｎｄ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｄｏｔｎｕｍｂｅｒｓｈａｖｅｌｉｔｔｌｅｅｆｆｅｃｔｏｎｔｈｅａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙｒｅｓｕｌｔ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｉｃｒｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎ；ａｃｔｉｖａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙ；ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｑｕｉｐｍｅｎｔ 其中，激活能是表征微晶硅材料本征特性的一个重