全球氮化镓激光器材料及器件研究现状.pdfVIP

关 注 FOCUS 全球氮化镓激光器 材料及器件研究现状 ■ 文/刘建平 杨 辉 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 氮化物半导体材料，也称为氮化 等领域具有巨大的应用前景。 器采用AlGaInP红光激光器，而蓝光 镓（GaN）基材料，是继硅（Si）、砷化 在GaN基蓝光和绿光激光器研制 (445～450nm)和绿光(520 ～530nm) 镓（GaAs）之后的第3代半导体材料， 成功以前，激光显示采用的激光光源 激光器则为GaN基激光器。2005年， 包含了GaN、氮化铝（AlN）和氮化铟 为全固态激光器。相对于全固态激光 Sony公司开发出了以GaN基蓝光激 （InN）及它们的合金（禁带宽度范围为 器，半导体激光器具有很多优势，比如 光器为光源的背投电视。2007年，上海 0.7～6.2eV），是直接带隙半导体，是 体积小、效率高、成本低、寿命长、波长 三鑫科技发展有限公司采用GaN基蓝 制作从紫外到可见光波段半导体激光 连续可调、易调制等。因此随着GaN基 光激光器开发出了微型激光投影机。 器的理想材料。半导体激光器具有体积 蓝光和绿光激光器的发展和成熟，激 2014年，海信集团推出了采用GaN基 小、效率高、寿命长和响应速度快等优 光显示的激光光源正被直接半导体 蓝光激光器的激光影院系统。 点，在信息科技等领域有广泛的应用， 激光器所取代。三基色中的红光激光 GaN基紫光激光器波长短，可以 是光电子产业的龙头产品。氮化镓激光 器在激光显示、激光照明、水下通信、生 国际照明委员会1931（x,y）色度图 物医学等民用及军用领域有广泛应用。 一、GaN基激光器的应用 GaN基半导体激光器目前最引人 注目的应用是激光显示。由于激光的 高色纯度，按三基色合成原理在色度 图上形成的色度三角形面积最大，色 域覆盖了自然色彩的90%，而目前液晶 电视、等离子体电视仅能达到40%，因 而激光显示的图像具有更大的色域、更 高的对比度，可以更真实地再现客观世 界丰富、艳丽的色彩，更具表现力（见图 1）。激光显示甚至被称为“人类视觉史 上的革命”，在电视、家庭影院和投影机 图1 不同显示技术所能显示的色域范围对比图 44 Advanced Materials Industry 10.indd 44 2015/10/12 9:24:49 FOCUS 关 注 用在光盘存储领域，增加光盘的存储 二、GaN基激光器研究现状 2.蓝光激光器 容量。以通用的5英寸双面光盘为例， 国际上，自1996年12月日本日亚 由于GaN基蓝光和绿光激光器在 采用波长为670 ～690nm的红光半导 (Nichia)公司研制成功世界上第一只 激光显示等领域具有巨大的应用前 体激光器，光盘存储容量为2.6GB，如 室温连续激射的GaN基紫光激光器 景，很多研究机构都致力于将激光器 采用波长为405nm的GaN激光器，相 以来，众多研究机构投入巨资进行