微机电 作业.doc

机械104 王臣朋 2010071216 微米纳米技术及微型机电系统 摘要　微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题, 以及它的应用领域。 关键词　　微型机电系统　微米纳米制造技术 1引　　言 　 　 微米/ 纳米技术是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域, 它研究和控制物质结构的功能 尺寸或分辨能力, 达到微米至纳米尺度, 它汇集电子、机械、材料、制造、测量, 以及物理、化学和 生物中新生长出的( 包括交叉的、不同层次的) 微小和微观领域的科学技术群体。几十年前人们 就实现了微米级精度的加工, 而制造微米尺度的器件、装置或机器就不容易了。虽然微米量级 的器件仍遵循宏观世界的规律, 但又在不同程度上显示出微小事件的特征。在技术上, 从微米 量级发展到纳米量级是一次飞跃; 从机理上, 纳米尺度的现象和器件的特性与宏观世界的规律 有很大的差异。科学家的目标是要实现原子分子层次上的制造技术, 形成新的物质结构和机 器。如1989 年由IBM 实验室开始用ST M 搬移氙原子、铁原子和某些分子, 而组成字符或图 案, 引起了世界科技界的重视和幻想; 1986 年IBM 还研制出超微型碳分子算盘, 算盘珠是由 60 碳原子组成的巴基球, 由扫描隧道显微镜操纵。近期可望取得重大突破的技术为: 微型机械 电子系统、微米/ 纳米制造技术、扫描探针显微技术、微电子及纳米电子技术、纳米材料技术和 纳米生物工程等等。纳米科学技术和生物工程被认为是未来科技的两大重要前沿。 2微米/ 纳米技术 科学技术向微小领域发展, 由毫米级、微米 级继而涉足纳米级, 人们把这个领域的技术称 为微米/ 纳米技术。微米( Micromet er, 简写为 μm) 和纳米( Nanomet er , nm) 的尺度分别为 10 - 6 m 和10 - 9 m。虽然还有更小的尺寸单位, 但 现代科学技术研究的尺度大都在埃以上 ( Angstr om, 1μ = 0. 1nm) 。光的波长为100nm 量级, 超大规模集成电路线宽可达亚微米级, 大 容量光存储的信息记录尺寸线宽为0. 6μm、深 0. 1μm, 生物大分子中蛋白质核酸的尺度为几 十到几个纳米, 而固体物质结构的极限尺寸 ——原子间距为0. 1～0. 3nm。微电子技术仍是现代科学技 术中的关键技术, 由于微细加工水平的提高, 微 电子集成规模由大规模集成( LSI) 、超大规模 集成( VLSI) 、特大规模集成( ULSI) , 现进入京 规模集成( GSI) , 线宽达0. 16μm, 工业化生产 为 0. 35μm。据美国微电子规划: 线宽由 0. 35μm( 1995 年) , 发展为 0. 2μm ( 1998 年) 、 0. 18μm( 2001 年) 、0. 12μm( 2004 年) 、0. 10μm ( 2007 年) 和 0. 07μm( 2010 年) ; 微电子技术的 另一重大贡献是在它基础上发展了微型机电系 统, 在本文中另有专节介绍。 发展到原子尺度的科学技术( Science and t echnology at at omic scale) 就是纳米科学技术, 它包括纳米电子、纳米材料、纳米生物、纳米机械、纳米制造、纳米测量等等的学科群。以扫描探 针显微镜( SPM) , 包括扫描隧道显微镜( STM) 和原子力显微镜( AFM) 等等技术为代表的纳 米级观测和加工方法, 可以分辨出单个原子、可在真空、大气或水溶液中直接观测表面结构的 缺陷、还可操纵单个原子或分子进行纳米级的加工。纳米电子学立足于最新的物理理论手段, 按新的概念构造电子系统, 超越传统极限, 实现信号采集、处理和存储能力突破。纳米材料指其 特征维度尺寸小于 100nm 的零维、一维、二维和三维的介于原子、分子与块材之间的固体材 料。在此尺度下, 小尺寸和界面效应、量子效应和宏观量子隧道效应的影响, 使它的物理、化学 和力学特性与大尺寸材料有明显的差异。 从工程技术观点, 微米/ 纳米技术是一个发展过程, 微米技术与纳米技术是有所区别又有 联系的宽广技术领域, 是指微米级( 按照习惯的划分, 0. 1μm～100μm) 到纳米级( 0. 1nm ～ 100nm) 的材料、设计、制造、测量、控制和应用的新技术。从微米/ 纳米技术研究的技术途径亦可分为两类: 一种是分子、原子组装技术的办法, 即把具有特定理化性质的功能分子、原子, 借 助分子、原子内的作用力, 精细地组成纳米尺度的分子线、膜和其它结构, 再由纳米结构与功能 单元进而集成为微系统, 这称为由小到大( B