超晶格薄膜导热系数影响因素分析.pdf

第19卷 第5期 技 术 Vol.19 No.5 2006年10月 OF SENSORS Oct.2006 AnalysisofFactorsAffectingtheThermalConductivityofSuperlattice UsingtheMolecularDynamicsSimulationMethod HUHan,CHENMin-hua，‘CHENYun-fei“’ (’C·ollegeofMechanicalEngineering,二“hea‘stUniversity,Nanjing210096,China; ) \2.KeyLaboratoryofMEMSofEducationMinistry,SoutheastUniversity.Nanjing210096,China Abstract:ThethermalconductivityofSuperlatticefilmswasstudiedusinganequilibriummoleculardynam- icssimulationmethod,andthethermalconductivityoftwomaterialscomposingthesuperlatticewascalcu- latedrespectively.Thefactorsaffectingthein-planethermalconductivityofthinfilmsdiscussedinclude themassofparticles,thewelldepth,andthelatticeconstant,etc.Thesimulationresultsshowthatthe twodifferentmaterialsbuildingupthesuperlatticehavealittleaffectiononthethermalpropertytoeach other.However,thechangeinthewelldepthofthetwomaterialswillaffectoneanotherthethermalcon- ductivitygreatly,andbecauseofthelatticemismatch,thestrainappearsintheinterfacesofthesuperlat- tice,thusrenderinganobviousmodificationofthethermalconductivityofthetwomaterials.Itisalso foundthat,thethermalconductivityofmaterialswithbigqualityratioreachasameconvergencewithdif- ferentwidthoffilms. Keywords:thermalconductivity;superlatticefilm;nonequilibrium;moleculardynamics EEACC:7320R;0520 基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析 胡 瀚 ，‘陈敏华 ，‘陈云飞1,2* 1.东南大学机械工程学院，南京210096;、 、 ( 2.东南大学MEMS教育部重点买验室，南京 2100961 摘 要:采用非平衡态分子动力学方法模拟了超晶格薄膜的热传导性能，分别计算了组成超晶格薄膜的两种材料的导热系 数.从粒子质量、势阱深度、晶格常数的变化等方面讨论了其对薄膜两种材料的切向导热系数的影响.模拟结果表明:不同粒 子质量的两种材料组成的超晶格薄膜中，二者的导热性能相互间影响并不大.而势阱深度的改变则两种材料的导热性能会相 互产生影响，但在晶格不匹配时，超晶格薄膜的界面出现了应变，两者的导热系数均会产生较大的变化.同时还发现，薄膜的 宽度不同时，大质量比的材料的导热系数趋于一致. 关键词:导热系数;超晶格薄膜;非平衡态;分子动力学 中图分类号: