微压电式振动能量采集器的研究进展_孙健.pdfVIP

MEM S 　MEMS Device Technology 微压电式振动能量采集器的研究进展 1 1 1 1 2 孙　健 , 李以贵, 刘景全, 杨春生 , 何丹农 (1.上海交通大学 微纳 学技术研究院, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 微米/纳米加工 技术国家级重点实验室　上海　200240;2.纳米技术及应用国家工程研究中心, 上海　200241) :给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型。按照压电单元结构类型的不 同, 将其分为单 一的直线型悬臂梁、 直线型悬臂梁阵列、 L 型悬臂梁和圆形压电膜, 分别讨论了 各种类型的微压电振动能量采集器的优缺点。详细介绍了国内外各研究小组研制的微压电式振动 能量采集器的结构参数、 性能及其应用现状, 分析针对目前研究中存在的问题, 指出如果能在分 析建模、 压电结构及压电材料优化方面取得实质性进展, 微压电振动能量采集器作为新型供能设 备在MEMS 系统和低功耗无线传感网络中的应用将会具有更加诱人的前景。 :微机电系统;压电式;能量采集器;悬臂梁;压电膜 :TH703 　:A 　:1671-477 6 (20 09 )11-0673-05 Trends of MEMS-Based Piezoelectric Vibration Energy Harvesters 1 1 1 1 2 Sun Jian , Li Yigui , Liu Jingquan , Yang Chunsheng , He Dannong (1.National Key Laboratory of Nano/MicroFabrication Technology, Key Laboratory f or Thin F ilm and Microf abrication of Ministry of Education, Institute of Micro and Nano Science and Technology, Shanghai J iaotong University , Shanghai 2 0024 0, China;2 .National Engineering esearch Center f or Nanotechnology, Shanghai 2 00241, China) Abstract:The w orking principle and physical model of MEMS- ased piezoelectric vi ration ener- gy harvesters (MPVEHs)are descri ed.According to different structures of piezoelectric com- ponents, MPVEHs can e divided into four types w hich are single linear cantilever structure, linear cantilever array, L-shape eam-mass structure and circular piezoelectric diaphragm struc- ture.Advantages and disadvantages of different MPVEHs are discussed