电子显微镜操作读书报告.pdf

电子显微技能训练课程读书稿 扫描电子显微镜介绍 1 扫描电子显微镜的结构 1.1电子光学系统 电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得 扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电 子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 1.1.1 电子枪 其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大多数扫描电镜采用 热阴极电子枪。其优点是灯丝价格较便宜，对真空度要求不高，缺点是钨丝热电子发射效率 低，发射源直径较大，即使经过二级或三级聚光镜，在样品表面上的电子束斑直径也在 5-7nm，因此仪器分辨率受到限制。现在，高等级扫描电镜采用六硼化镧 （LaB6）或场发射 电子枪，使二次电子像的分辨率达到2nm。但这种电子枪要求很高的真空度。 1.1.2 电磁透镜 其作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50mm 的束斑缩小成一个只 有数nm 的细小束斑。其工作原理与透射电镜中的电磁透镜相同。 扫描电镜一般有三个聚 光镜，前两个透镜是强透镜，用来缩小电子束光斑尺寸。第三个聚光镜是弱透镜，具有较长 的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。 1.1.3 扫描线圈 其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫 描信号。改变入射电子束在样品表面扫描振幅，以获得所需放大倍率的扫描像。扫描线圈试 扫描点晶的一个重要组件，它一般放在最后二透镜之间，也有的放在末级透镜的空间内。 1.1.4 样品室 样品室中主要部件是样品台。它出能进行三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移 动范围一般可达40 毫米，倾斜范围至少在50度左右，转动360度。 样品室中还要安置各 种型号检测器。信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系。样品台还可以带有多 种附件，例如样品在样品台上加热，冷却或拉伸，可进行动态观察。近年来，为适应断口实 物等大零件的需要，还开发了可放置尺寸在Φ125mm 以上的大样品台。 1.2真空系统和电源系统 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵 加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM 的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼 化镧枪的SEM，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空 柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下 两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM 时 需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自 由程，从而使得用于成像的电子更多。 1.3信号收集及显示系统 其作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的 调制信号。不同的物理信号需要不同类型的检测系统，大致可分为三类：电子检测器，应急 荧光检测器和X 射线检测器。在扫描电子显微镜中最普遍使用的是电子检测器，它由闪烁 体，光导管和光电倍增器所组成。当信号电子进入闪烁体时将引起电离；当离子与自由电子 复合时产生可见光。光子沿着没有吸收的光导管传送到光电倍增器进行放大并转变成电流信 号输出，电流信号经视频放大器放大后就成为调制信号。这种检测系统的特点是在很宽的信 号范围内具有正比与原始信号的输出，具有很宽的频带（10Hz-1MHz）和高的增益(105-106), 而且噪音很小。由于镜筒中的电子束和显像管中的电子束是同步扫描，荧光屏上的亮度是根 据样品上被激发出来的信号强度来调制的，而由检测器接收的信号强度随样品表面状况不同 而变化，那么由信号监测系统输出的反营养品表面状态的调制信号在图像显示和记录系统中 就转换成一幅与样品表面特征一致的放大的扫描像。 2.扫描电子显微镜的原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰 击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电 子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被 样品吸收。在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约 1%的入射电 子能量从样品中激发出各种信号。如图1所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、