精密加工和超精密加工技术综述.pdf

中国机械工程CHINA MECHANICAL ENGINEERING1999年　第10卷　第5期　Vol 中国机械工程 CHINA MECHANICAL ENGINEERING 1999年　第10卷　第5期　Vol.10　No.5　1999 精密加工和超精密加工技术综述 王先逵　吴丹　刘成颖 　　摘要　论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用 和地位；分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发展 特点。 　　关键词　精密加工　超精密加工　先进制造技术　机械制造 　　中国图书资料分类法分类号　TH16 　　 　 　　Abstract technology developed is induced. 　　Key words 收稿日期：1998—12—07　　从先进制造技术的实质而论，主要有精密加工技术和超精密加工技术、制造自 ［1］ 动化两大领域 ：前者包括精密加工、超精密加工、微细加工及纳米加工，它追求加工上的精度和表面 质量的极限，可统称为精密工程；后者包括设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提 高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是保证产品质量、提高和稳定加工质量的有效举措。两者有密 切联系，许多精密加工和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化有赖于精密加 工才能得以准确实现。精密工程和制造自动化具有全局性的、决定性的作用，是先进制造技术的支柱。 1　精密加工和超精密加工的技术内涵 　　通常按加工精度划分，可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工。由于生产技术的不断发 展，划分的界限将随着历史进程而逐渐向前推移，过去的精密加工对今天来说已经是普通加工，因此，其 划分的界限是相对的，并且在具体数值上至今没有固定的界说。 1.1　精密加工和超精密加工的范畴 　　当前，精密加工是指加工精度为1 μm～0.1 μm、表面粗糙度为0.1 μm～0.025 μm的加工技术；超精密 加工是指加工精度高于0.1 μm、表面粗糙度小于0.025 μm的加工技术。因此，超精密加工又称之为亚微米 级加工。超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的纳米技术。 　　从精密加工和超精密加工的范畴来看，它应该包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加 工技术。 　　微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技 术，它们是针对集成电路的制造要求提出的，由于尺寸微小，其精度是用尺寸额绝对值来表示，而不是像 一般尺寸那样，用所加工尺寸与尺寸误差的比值来表示。 　　光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质的加工方法，不着重于加工精度的提 高，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上，这些加工方法不仅能提高表面质 量，而且可以提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语，它与光整加工是对应的，是指 既要降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质，同时又要提高加工精度的加工方法，可弥补光整加工的 不足。 1.2　精密加工和超精密加工方法 　　根据加工方法的机理和特点，精密加工和超精密加工方法可以分为去除加工、结合加工和变形加工3大 类，见表1。 万方数据 file:///E|/qk/zgjxgc/zgjx99/zgjx9905/990527.htm（第 1／7 页）2010-3-23 15:24:17 中国机械工程CHINA MECHANICAL ENGINEERING1999年　第10卷　第5期　Vol 　　去除加工是从工件上去除一部分材料。结合加工是利用理化方法将不同材料结合在一起，又分为附着 弱结合，典型的加工方法是镀；注入加工是在工件表面注入某些元素，使之与基体材料产生物化反应，是 具有共价键、离子键、金属键的强结合，用以改变工件表层材料的力学机械性质；连接加工是将两种相同 或不同材料通过 表1　精密加工和超精密加工 分类 加工机理 主要加工方法示例