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TDR—62E单晶炉 使 用 说 明 书 （ 机械部分） 西安理工晶体科技有限公司 TDR-62E型软轴单晶炉机械部分说明书 目录(机械部分) 1 概述3 2 特点3 3 主要技术规范4 4 机械部分的设计和使用说明5 4.1 主机结构简述5 4.1.1 坩埚驱动装置5 4.1.2 主炉室6 4.1.3 翻板阀7 4.1.4 副炉室8 4.1.5 籽晶旋转及提升机构8 4.1.6 副炉室及炉盖升降操作8 4.1.7 主炉室升降操作9 4.1.8 水冷系统9 4.2 使用与操作9 4.2.1 准备与试运转9 4.2.2 调整9 4.3 维护与修理10 4.3.1 各运转部位的维护与修理10 4.3.2 真空系统中运转的提拉室部件的维修11 4.3.3 谐波减速器的维修11 4.3.4 拆装12 1 TDR-62E型软轴单晶炉机械部分说明书 4.3.5 水冷系统的维护13 5 真空充气系统的设计和使用说明13 5.1 真室系统13 5.1.1 主炉室真室系统13 5.1.2 副室真空系统14 5.1.3 真空计量仪器14 5.1.4 密封14 5.2 充气系统的使用14 5.3 真空系统及充气系统的维护与注意事项15 6 设备安装与要求15 6.1 设备的工作环境15 6.2 冷却水源与排水16 6.3 电源16 6.4 氩气源17 6.5 泵组系统的排气管路17 6.6 设备的平面部署与厂房高17 6.7 地基构造18 6.8 操作平台18 6.9 设备的拆箱18 6.10 设备的安装18 7 随机文件20 2 TDR-62E型软轴单晶炉机械部分说明书 1 概述　　 TDR-62D 型软轴提拉型单晶炉，是在惰性气体环境中，以 石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错 位单晶的设备。该设备能使用 12热系统投料 20 公斤，拉制 4-5的单晶, 最大裕度可允许使用 14热系统投料 30 公斤， 拉制 6的单晶。该设备是一种单温区加热、带磁场的适用于减压 条件下拉制硅单晶的生产炉型。 2 特点 本设备采用软籽晶轴， 具有独特的籽晶提升机构。 降低了单晶炉 的高度。 因而在一般厂房中即可安装使用， 便于装配维修和拉晶操 作， 同时实现了籽晶轴转速稳定的效果。TDR-62E 型单晶炉在性能 和控制上有了更进一步的进展，首先在机械结构方面采用了新型翻板 阀结构及合理的主、副室提升机构。炉室结构为顶开式，主炉室和副 炉室开启时由液压传动装置实现上移。上升到位后对称旋出，保证主 机稳定可靠，并便于机动取出晶体，拆装热场系统和清理炉内各部。 主炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀， 可在热场维持工艺温度 的情况下取出晶体，更换籽晶和补充加料，连续拉晶。电控制系统(温 度控制、晶体直径控制)采用微机控制，功能全、精度高、稳定性好。 埚升、 埚转、晶升晶转均采用性能稳定可靠的稀土永磁直流电机系 统。　 电器控制方面具有以下几点：　 (1) 温度自动控制系统；　 (2) 电机调速控制系统；　 3 TDR-62E型软轴单晶炉机械部分说明书 (3) 单晶直径自动控制系统；　 (4) 单晶、 熔体自动跟踪系统；　 (5) 单晶重量及长度显示功能。 各拉晶有关参数包括籽晶轴、 坩埚轴的转动速度、 晶升和埚升速度、 炉内压力、 冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示, 主要部 位进行冷却水水温的巡回检测与超温报警、冷却水欠压报警。电器控 制柜配置有主控制柜及功率输出柜，主控制柜主要实现各种控制操作 及各种参数显示，功率输出柜主要提供加热功率。 3 主要技术规范 1. 电源电压 380VAC ±10﹪ 2. 电源频率