微电子厂房结构微振动响应研究.pdfVIP

建 筑 技 术 第41卷第 9期 2010年 9月 · 860· ArchitectureTechnology Vo1．41No．9 Sept．2010 微电子厂房结构微振动响应研究 雷 自学，屈尚文，王 丹，袁卫宁 ’ (长安大学建筑工程学院，710064，西安) 摘 要：基于某微电子厂房微振动实测数据，采用有限元分析软件SAP2000对结构微振动响应进行模拟分 析，得出工作平台上一些点的加速度时程曲线及相应的反应谱，并与实测响应值加以对 比。结果表明，无论实 测数据还是模拟结果 ，水平方 向基底输入加速度在工作平台上都得到一定程度的放大；实测反应谱 曲线与相 应的模拟曲线形状相似 ，峰值均出现在结构相应方 向的自振周期附近；阻尼比是影响结构微振动响应的主要 参数之一。 关键词：微电子厂房；微振响应；时程分析；反应谱 中图分类号 ：TU318 文献标识码 ：A 文章编号：1000—4726(2010)09—0860—03 STUDY oN STRUCTURAL M ICROVm RATIoN RESPoNSE oF M ICR0一EIECTRONICS W ORK H0P LEIZi-xue，QuShang-wen，Wang Dan，YuanWei-ning (SchoolofCivilEngineering，ChanganUniversity，710064，Xian，China) Abstract：On thebasisofexperimentaldata，thispapersimulated thestructuralmicrovibration responseof amicro—electronicsworkshopbyusingthefiniteelementanalysissoftwareSAP2000．Itobtained theacceleration time-history curvesand corresponding responsespectra．which were compared with those from experiment．The results indicate thatfor both the experimental data and the simulated ones，on the working platfonn the accelerations atthe base ofthe structure in the horizontal directions have been amplified；the acceleration spectra from the experimentaldata are similar in shape to the simulated ones，with their peak values in accordancewith the fundamental periodsofthe structure in thecorresponding directions；the damping ratio is oneofthemajorfactorsaffectingthemicrovibrationresponseofthestructure． Key Words：micro-electronicsworkshop；microvibrationresponse；time-historyanalysis；responsespecturm 由于高科技精密仪器厂房要求室内非常洁净，并 节点。 对空气温度和粉尘含量都有严格的要求，所以必须设 1 实测数据分析 置通风除尘网，通常称为洁净室 cleanroom)。图1为某