光刻工艺培训2013.ppt

按照指令要求将检验合格的玻璃正确装篮、上线。 ITO表面电阻值要求 规格（ITO表面电阻值） （Ω/□） ITO面电阻范围 （Ω/□） STN15 9～13 STN20 13～20 STN30 20～28 STN60 35～60 TN180 60～80 HTN40～60 40～60 外观质量标准 检验项目 标准 玻璃表面划伤 宽：＞0.1mm 不允许 宽：≤0.1mm 多条总累计长度≤20mm，单条长度≤5mm ITO膜面划伤 不允许 粘附物 不允许有不溶于水或碱性清洗液的粘附物（油污、水渍） 裂痕 不允许 玻璃突起 不允许 崩边 a?b?c＜2.0?1.5?(1/2d) （d为玻璃厚度） 操作要求1 ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜2拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面；3拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面；4拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面； 玻璃经过碱清洗、超声清洗，兆声清洗、纯水喷淋清洗，然后经过风刀吹干，IR、UV照射 清洗的超声波应用原理是由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质，清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐