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Cubic-200分子束外延生长系统-费勉仪器科技
分子束外延生长系统 Cubic-200
Fe Se Mn Cu Ge Ag In Sb Ba Au Te Pb Bi Sm
产品特点
Cubic-200分子束外延生长系统由一体成形的不锈钢腔体组成，
无焊接部分，确保了最低的泄露可能性；6个CF100和8个CF40
的超高真空标准法兰口，满足分子束外延生长各项部件的安装
需求。
配有300L/s抽速分子泵及无油前级机械泵，全量程规（或离子
规），INFICON膜厚测量仪，4轴变温样品台，最多可装配7个
蒸发源，满足多种薄膜材料的生长需求。
系统配置
配置选项 基本配置 升级配置
真空腔体 SS304不锈钢，一体成形 Ti合金腔体，一体成形
8个CF40，4个CF100，
法兰 8个CF40，6个CF100法兰
2个CF150法兰
分子泵 Pfeiffer HiPace 300 Edwards STP301磁悬浮分子泵
前级机械泵 Edwards nXDS6i Edwards nXDS10i
5E-10 mbar
本底真空 5E-10 mbar 也可搭配离子泵/NEG/液氮冷却TSP，
本底真空达到5E-11 mbar
4轴样品台 X/Y(±10mm), Z(150mm), θ (+/-180度)
样品台温度范围 RT~1200K 液氮制冷模块，150K~1200K
INFICON STM-2 INFICON XTC/3s
QCM
100mm行程线性移动装置 100mm行程线性移动装置
蒸发源：3套
最多可安装7套蒸发源；
工作温度：80-1100℃
控温精度： ±0.1℃ 工作温度，最高可达到2000℃
蒸发源.
法兰规格：DN40CF
手动挡板升级为气动
坩埚体积：~10cc 并带有气动控制器
手动挡板及水冷套；
连接闸板阀 HTC DN63CF手动闸板阀 VAT DN63CF手动闸板阀
其它可选配件 快
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