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T-Station75分子泵抽气系统-EdwardsVacuum.PDF

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T-Station75分子泵抽气系统-EdwardsVacuum

T-Station 75 T-Station75Edwards EXT75DXE2M1.5 XDD1 T-StationTAG T-Station TAV5 E2M1.5XDD1 NW40ISO63CF63 TAG TAV5 2 100%50%50% 1APG100 AIMASGWRG 50% TAV5 T-Station 75 395 NW40 42 l/s ISO/CF63 61 l/s 1 x 1011 50Hz 3 0 E2M1.5 (TS75W) 1.6 m /hr 5 3 0 7

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