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一匹吃很少的草却跑得飞快的骏马 ——介绍分子增压泵的节能效果 龚建华 储继国 自古以来就有“又要马儿跑，又要马儿不吃草”的说法。当然这种意念是违背科学原理的，与其他形形色色的永动机一样是不可能的。但这不乏说明了人类的一种美好追求，反映了能源的重要和珍贵。 然而通过科学的进步，在各个领域逐步减少能耗，不但是可能的，而且正在取得可喜的成就。 分子增压泵研发成功，在真空机组的节能方面获得了令人瞩目的成绩。在其他相关论述中曾指出，分子增压泵高真空机组具有三重节能效果。其一是高效的拖动抽气；其二是节省了罗茨增压泵；其三是要求的前级泵抽速比传统泵明显的低。 在分子增压泵的推广应用过程中，虽仅涉及有限的真空应用领域，但取得显著节能效果的案例并不少，下面逐一进行浅略地分析。 案例一： 钛金磁控溅射镀膜机真空机组的改造 原设备真空室约1.0M3，真空机组配置为： K500油扩散泵（7.5kW）+ZJ300罗茨泵（4kW）+2 X-70旋片泵（5.5kW），镀膜周期约2 小时。 改造后真空机组配置为： 3 ×MB200D分子增压泵（0.25kW）+ 2 X -15旋片泵（2.2kW）+ 预抽泵 2 X-70旋片泵（5.5kW） 改造前后真空机组能耗分析： 改造前： 实耗功率 W1 =7.5 kW +（4kW+5.5kW）×0.4=11.3kW 改造后： 实耗功率 W2＝３×0.25kW＋2.2KW ×0.4＝1.63kW 说明：凡电机驱动的真空泵，长时间运转实耗功率按标称功率40％计算。 预抽泵２X-７０仅需工作４分钟，真空室压力低于100Pa，即可由分子增压泵机组工作。故将预抽泵功耗略去。 节能效果： W=W1-W2=11.3kW-1.63kW=9.67kW 而 W/ W1=9.67kW/11.3kW=86% 结论： 撇去真空机组改造带来的在抑制油蒸汽和活性气体方面的显著优势外，真空机组能耗降低86%。如果用于新增设备，在经济发达地区，基本上一年半时间可从节省的电费收回多支出的设备费用。而此后大额的能耗费用将变为收益，这既造福于社会，又有益于企业自身，实属双赢。而作为预抽的前级泵，由于工作时间极短，在规模化生产中，可以用一台预抽泵服务于多套设备；或作为集中前级使用。对传统的扩散泵和涡轮分子泵机组设备，虽可以用罗茨-滑阀或罗茨-旋片机组作为集中前级使用，但每次预抽机组都需切换工作，远没有单泵的预抽方便。而且，预抽压力越高，管道的抽速损失越小，并消除前级泵返油。 图一 钛金镀膜设备改造图片 案例二： 石英玻璃管低真空脱羟炉真空机组改造 原设备真空室体积12 M3，真空机组配置为： 2×ZJ1200罗茨泵（11kW）+ 4×2-X70旋片泵（5.5kW），石英管热处理周期24小时，真空度0.1Pa。 改造后真空机组配置为： 2×MB200D分子增压泵（0.25kW）+ 2X-15旋片泵（2.2kW）+ 预抽泵2×2 X-70（5.5kW） 改造前后真空机组能耗分析： 改造前： 实耗功率 W1= 2 ×11kW ×0.4＋４×5.5kW×0.4＝17.6 kW 改造后： 实耗功率　W2＝２×0.25kW＋2.2kW×0.4＝1.38kW 说明：凡电机驱动的真空泵，长时间运转实耗功率按标称功率40％计算。改造后的预抽泵抽至100Ｐa的时间与整个热处理时间相比极短，故略去预抽泵能耗。 节能效果： W=W1-W2=17.6kW-1.38kW=16.22kW 而 W/ W1=16.22kW/17.6kW=92% 结论： 清洁真空是石英玻璃管脱羟的重要条件，改造后的机组真空度优于0.1Pa，热处理后的羟基含量达标，甚至更低。比原真空机组节能92%。同样改造后的预抽泵可集中使用，同时伺服4—8套真空脱羟设备，大幅降低设备费用。如果用于新增设备，即使在经济不发达的边远地区，不用3个月节约的电费即可补偿真空机组多支出的费用。 图二 石英玻璃管低真空脱羟炉真空机组改造图片 案例三： 稀土永磁材料真空熔炼炉真空机组改造 原设备每次熔炼量30kg，真空机组配置为： KT400油扩散泵（5kW）+ ZJ600罗茨泵（5.5kW）+2X-70旋片泵（5.5kW） 改造后真空机组配置为： 3×MB200D分子增压泵（0.25kW）+ 2X-15旋片泵（2.2kW）+ 预抽泵2X-70（5.5kW） 改造前后真空机组能耗分析： 改造前： 实耗功率 W1 =5kW +（5.5kW+5.5kW）×0.4×0.5　＝7.2kW 改造后： 实耗功率 Ｗ2＝３×0.25kW×0.5＋2.2kW×0.4× 0.5＝0.815kW 说明：凡电机驱动的真空泵，长时间运转实耗功率按标称功率40%计算，预抽泵