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椭圆偏光仪原理
橢偏儀原理與操作說明
Overview of Spectroscopic Ellipsometry
and Operating
楊詩億
.tw
Ver:2016/03/23 1
Online
• 光的行徑方向
• Ellipsometers
• 材料光學特性（折射率）
• 橢偏儀測量流程
• WVASE32 軟體介面
• Complete EASE 軟體介面
• Dispersion Equations in CE
Ver:2016/03/23 2
光的行徑方向
• 從麥克斯韋方程（Maxwell’s equations ），可以描述一個
平面電磁波。
電場, E(z,t)
磁場, B(z,t) 傳播的方向
• 描述為量化粒子（quantized particle ）（光子，photon ）
。
Ver:2016/03/23 3
Polarized Light
相對於描述的電場的形狀，以傳播方向 。
線偏振光
-任何幅度，相位 。 X
圓偏振光 wave1
- 相位相差90°
Y
- 平等的幅度。 wave2
橢圓偏振光 Z
- 任意的相位和振幅 。
Ver:2016/03/23 4
偏振光在界面
• 電場方向：平行（P ）或垂直（S ）於入射平面。
• P-型和S-光之間的材料區分。
Ep Ep
1.0
Rp
Es 0.8 Rs
Es
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plane of c
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