研发总中心先进制程实验室多靶射频溅镀系统操作说明.PDF

研發總中心 / 先進製程實驗室 多靶射頻濺鍍系統操作說明 102/06/28修訂 開機程序 1. 開啟高壓空氣開關 (位於電源箱下方如圖一所示) 。 2. 開啟電源箱中濺鍍系統總電源開關，此時冰水機會自動啟動。 3. 檢查冰水機水量，水量須在 Low 刻度之上(如圖二所示) ，水量不足時請先加入蒸餾水。 4. 開啟位於濺鍍系統面板右上方的電源開關 (如圖三所示) 。 5. 顯示面板為觸控式，畫面如圖四所示，按面板上的 Main區域後，以手指輸入指定密碼。 6. 主畫面如圖五所示，選取手動流程控制，進入人機介面畫面(如圖六所示) 。 圖一 高壓空氣開關 圖二 冰水機的水量表 圖三 操作介面 圖四 開機畫面 圖五 主畫面 圖六 Manual 畫面 暖機 1. 系統自動開啟pump vent (管路洩氣閥 ) ，等待約1 分鐘後再繼續操作。 2. 在右邊 MENU選取「真空排氣」，顯示真空排氣的選單(如圖七所示) ，選取「手動排氣」， 按【Back 】鍵，回到Manual 畫面。 3. 在 Manual畫面上排氣相關裝置的圖示如圖八，以手指點選【油迴轉泵】(Rotary pump) ， 啟動油迴轉泵。 4. 油迴轉泵啟動 20秒後，在畫面上以手指點選開啟【前級閥】 (fore valve) ，使油迴轉泵 -2 對擴散泵(Diffusion pump)抽氣，須待 VG降至 4×10 Torr 以下，才能繼續進行下一步驟。 1 5. 在畫面上以手指點選【擴散泵】，開啟擴散泵預熱功能，右上方系統狀態將顯示目前預熱 時間，預熱時間共需 1200秒，等待時間可進行安裝基板與靶材。 圖七 真空排氣選單 圖八 排氣相關裝置 安裝待鍍基板與靶材 1. 選取 Manual 右邊畫面選單中的【腔體洩氣】，開啟腔體大氣平衡(進入ON 狀態) ，按【Back 】 鍵，回到 Manual 畫面。此時需將門上旋鈕事先旋 鬆，避免腔體門鬆開後卡死在腔體門 旋鈕(如圖九所示) 。 2. 破真空後，打開腔體門，進行濺鍍靶材安裝 (如圖十所示) ，需注意靶材與外層shielding 必須間隔1mm 以上，否則會造成二者短路，射頻信號無法輸入至濺鍍靶。 3. 取出基板載座(如圖十一所示) ，將待鍍基板放至載座上後將螺絲鎖緊，使金屬壓片固定 基板位置，使用氮氣槍將基板表面吹乾淨，再將基板載座放回腔體(有兩層位置可選擇放 置，如圖十二所示 ) 。 圖九 腔體門旋鈕 圖十 濺鍍槍 2 圖十一 基板載座 圖十二基板載座放置處，有上下兩個位置 4. 調整濺鍍槍角度，中間角度位置為外側 3.5 格，可調範圍為前後 1格，使濺鍍槍中心軸 對準基板載座中心，檢查左右遮板移動時是否會撞到。 5. 使用無塵紙輕輕擦拭腔體門的四周及 O-ring(如圖十三所示) ，然後關閉腔體，並將兩腔體 旋鈕鎖緊，注意此時面板畫面右上角的系統狀態之腔體門是否亮燈。 6. 選取 Manual 右邊畫面選單中的【腔體洩氣】，開啟腔體大氣平衡(進入 OFF 狀態) ，按 【Back 】鍵，回到Manual 畫面。 圖十三 腔體 O-ring 粗抽、細抽