硅基GHz高速电光调制器研究进展.PDF

前沿进展 硅基!# 高速电光调制器研究进展 4 屠晓光 ! ! 陈少武! ! 余金中 （中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室! 北京! 5%%%6 ） 摘! 要! ! 硅基高速电光调制器是新一代密集波分复用系统和光时分复用系统中的关键光电子器件，他的运用可 以降低光通讯系统的制作成本并且大大有利于未来的硅基光电集成- 目前国际上已经实现的硅基高速电光调制器 件的调制速率已经超过789- 文章对国外硅基高速电光调制器的最新研究进展进行了介绍，评述了各种基于不同 电学和光学结构的硅基电光调制器，对不同类型器件在制作和应用中的优缺点进行了比较- 关键词! ! 硅基光子集成，电光调制器，*:0:3 结构，;=（金属氧化物半导体）结构 $%%’()*+,-./ !# 0%10 -2../ ..’34(*(23%’ 5(/6,3(4- 4 ? @01A:7.13B ! ! C8DE =(1A:F.! ! G? H03:I(A3B （!#$ %$ ’#()*#)* )+ ,+$-$*#$. /0 )$1$2*)+324 ，,+435$ )6 !$732)+.52)*4 ，893+$4$ :2#.$7 )6 !23$+2$4 ，;/ )= J5$ ，$3 3+-? 5%%%6 ，893+# ） 7+-34,’38 8 =0/02A3:K1LMN (0B( L*MMN M/M2)OA:A*)02 PAN./1)AOL 1OM MLLM3)01/ 2AP*A3M3)L AQ (0B(:21*120)R ,1SM: /M3B)(:N0S0L0A3:P./)0*/MTMN )O13LP0LL0A3 LRL)MPL AQ )(M *OMLM3) 13N 3MT) BM3MO1)0A3L- (MR BOM1)/R 032OM1LM )(M K13N,0N)( 13N L*MMN AQ Q0KMO )O13LP0LL0A3 LRL)MPL 1) 1 /A, 2AL)- C.OOM3)/R ，M/M2)OA:A*)02 PAN./1)AOL ,0)( L,0)2: (03B L*MMNL MT2MMN03B 789 (1SM KMM3 Q1KO021)MN .L03B PM)(ANL 2AP*1)0K/M ,0)( C;= P13.Q12).O03B *OA2ML: LML- FM NML2O0KM S1O0A.L U03NL AQ L0/02A3:K1LMN M/M2)OA:A*)02 PAN./1)AOL K1LMN A3 N0QQMOM3) M/M2)O021/ 13N A*)021/ L)O.2).OML ，13N N0L2.LL )(M 1NS13)1BML 13N N0L1NS13)1BML 03 )(M0O Q1KO021)0A3 13N 1**/021)0A3- (M /1)ML) *OA: BOMLL 03 )(M NMSM/A*PM3) AQ L.2( PAN./1)AOL 0L L.PP1O09MN- 9.:;(4/-8 8 L0/02A3:K1LMN *(A)A302L 03)MBO1)0A3 ，M/M2)OA:A*)02 PAN./1)AO ，*:0:3 L)O.2).OM ，;=（PM)1/:AT0NM: LMP02A3N.2)AO ）L)O.2).OM 的硅基高速电光