第三章制程尾气处理研究实验设备3.1制程尾气处理设备Localscrubber.PDF

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2017-05-26 发布于天津
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第三章制程尾气处理研究实验设备3.1制程尾气处理设备Localscrubber.PDF

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第三章制程尾气处理研究实验设备3.1制程尾气处理设备Localscrubber

第三章製程尾氣處理研究實驗設備 3.1 製程尾氣處理設備 Local scrubber 台灣所使用之 Local Scrubber 約有十幾種廠牌型號，而依其原理大概可分電熱水洗式、燃燒式、填充水洗式、乾式吸附式..等，端視使用者的需求而 (13) 決定應使用何種型式廠牌。表 3.1 為常用之 Local Scrubber廠牌與型號。表 3.1常用之 Local Scrubber廠牌與型號廠牌型式燃料水出廠公司 ESCAPE Thermal CH =20 lpm 1.5 lpm DAS 4 or H =50 lpm (Germany) 2 TPU Thermal CH =30 lpm 2~23 lpm BOC-EDWARD 4 (Britain) GDC-250A Thermal CH =13 lpm 8 lpm Ebara) 4 (Japan) SBRN Thermal CH =15 lpm NA SAAN 4 Clean-S-PFC Catalyst - - Showa GRC Catalyst - - BOC-EDWARD (Britain) ECOSYS-VECT Wet - 4 lpm ECOSYS OR Scrubber (USA) Guardian Thermal CH =36~50 - (Jap