表面技术装备简讯-表面技术装备网.PDF

2016 年 第24 期 总第40 期 2016.12.19 表面技术装备简讯 Newsletter of Surfacility 技术交流 1、多弧制备的工件赏析： 2、等离子体纳米粉体制备系统： 直流电弧（多源）等离子体纳米粉体制备系统，是以直流电弧等离子体作为 热源，在氢气、惰性气体、原料气体中，通过蒸发块体靶材料获得各类纳米粉体 产品。该项技术是制备金属、合金、包覆结构纳米胶囊、陶瓷、碳相关纳米复合 材料的有效制备方法，具有粉体产品种类多、分散性好、纯度高、工艺可控、规 模化生产、成本低、污染小等优势。 3、超长工件硬质膜镀膜系统赏析： 4、直流溅射对靶材的电阻率有没有具体量化的指标，有个材料的电阻率是 5， 2016 年 第24 期 总第40 期 2016.12.19 能不能用直流溅射？ 需要对电阻进行计算，靶材发热也同电流有关，需要要重视。 技术新闻 1、创新性聚合物涂层解决钙钛矿太阳能电池老化问题： 研究人员设计并提出用一种创新性的聚合物材料涂层（微米厚氟化层），充 当防湿屏障，确保太阳能电池板的自清洁特性，从而有效抵制钙钛矿太阳能电池 的老化。 详见： /s/4TMDMOUh6lxpjfie4x6pKw 2、电子束和离子束的比较：： /s/LK6Xzqm08zhPU6hm7-wZuQ 3、电致变色玻璃演示：： /v_show/id_XMTg1NjY2Nzg2MA .html 4、200mm 新型高性能多功能磁控溅射系统： 近日，北方微电子发布了200mm 新型高性能多功能磁控溅射系统Polaris G620，该设备基于北方微电子成熟的Cluster Tool 平台构架，搭载全自动化装 卸载系统，能更好地满足先进封装、微机电系统等多领域制程的发展需求。 详见： /s/0JW2PYwRM9CQMi1a4WytJQ 学会动态 (1) 深圳年会（融合）—2016 年surfacility 主题活动（3 ）将于2016 年 12 月23 日在中 科院深圳先进院 (科研大楼)举办，欢迎各位报名参加： /s/fmkspX9wNLN41fc7LIxTXQ (2) 真空技术”研修班将于2016 年 12 月2 1-22 日在中科院深圳先进院 (科研大 楼)举办，欢迎各位报名参加： /s/luWlxxWYV0IWMg9KwhCQ2A 2016 年 第24 期 总第40 期 2016.12.19 专题研讨总结 1、分子泵是什么？ 分子泵一种获得高真空、超高真空的设备（机械式旋片泵的极限为中真空和 高真空的分界线），一般不能直排大气，因此需配备旋片泵等机械泵作为预抽。 随着分子泵技术的发展，其对前级泵真空度的要求逐渐降低，在一些特殊应用领 域可以做到直排大气（半导体行业）。 2、分子泵主要部件有哪些？ 1）抽气组件：涡轮级+拖动级； 2 ）电机及控制系统； 3 ）轴系及减振装置； 4 ）泵体及附件。 3、分子泵如何抽气？ 分子泵属于动量传输泵的一种，基本原理是利用高速旋转的固体表面与气体 分子的碰撞，把能量传递给气体分子，而这些气体分子由于动静叶片角度的