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MEMS加速度检波器的ARMA建模及性能分析

石 油 仪 器 2011年 第 25卷 第5期 PETROLEUM INSrRUMENTS · 开发设计 · MEMS加速度检波器的ARMA建模及性能分析 孔 杰 李树荣 王维波 (中国石油大学 山东 青岛) 摘 要:通过振动台的测试实验,得到MEMS加速度检波器的冲击响应数据,利用 Steiglitz—McBride迭代法来建立该 检波器的ARMA模型,并且使用Hankel矩阵的秩估计ARMA模型的阶次。通过仿真验证 了此方法建立的模型准确度是 很高的,并且依据建立的模型完成检波器幅频特性的性能分析。 关 键 词:MEMS加速度检波器;冲击响应;Steiglitz—McBride迭代法;ARMA;性能分析 中图法分类号:P631.4 36 文献标识码:B 文章编号:1004—9134(2011)05.0001—03 速度检波器的冲击响应数据 ,来建立该检波器的 0 引 言 ARMA模型,根据建立的模型来分析检波器幅频特性 。 在石油勘探领域,随着地震勘探高分辨率、高精度 如果获得了DSU3检波器的脉冲响应数据,便可利用 等要求的提出,用传统地震检波器得不到理想原始信 此方法来分析 DSU3检波器的幅频特性。 号的现状 已经直接影响到地震数据采集的质量,而 1 ARMA模型参数的辨识方法 MEMS(Micm ElectromechanicalSystem,即微 电子机械 系统)JJn速度检波器由于动态范围大和频率带宽高,能 1.1 ARMA模型的表示 【J 获得高质量的数据 ,经过计算机处理可以获得更精确 离散系统的输入输 出模型一般表示形式如下: 的地下成像,对提高油藏回采率、降低勘探风险和开发 Y(k)+O,1Y(k一1)+azy(k一2)+… +any(k 风险有重要作用 ¨J。 — )=bo“(k)+b1 (k一1)+b2u(k一2)+… + 在MEMS加速度检波器的各种特性中,幅频特性 bmu(k—m)+e(k) (1) 是非常重要的一个特性。幅频特性 曲线表示 了MEMS 上式可写成更一般的形式: 检波器对不同频率振动信号的响应情况,通过幅频曲 A(一)Y(k)=B(z一) (.i})+e(k) (2) 线可以得到检波器的带宽、线性响应范围等特性,因 式中,A(一)=l+01一+Ct2Z一+…+0,一 , 此,研究检波器的幅频特性就很有必要且很有意义。 B(一)=1+blz一+62z一2+… +6,一m。 在有些研 究分析 中,直接使用 常规检波器 和 因而,得到系统的传输函数为: MEMS加速度传感器的幅频响应曲线[、3],来进行两 bL 曰(_。) , 、 种检波器对 比分析,但没有给出该 曲线的具体实现方 法。同时,用于地球物理勘探 的高性能 MEMS加速度 60+bl,Z一 +bzz一 + … + 6, 一 ,、 一 J 1+ 口】一1+ 02 一2+ … + 口 一 检波器中,Sercel公司的DSU3检波器是代表性产品之

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