a400F扫描电子显微镜的故障分析与保养维护.PDF

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2017-05-27 发布于江苏
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a400F扫描电子显微镜的故障分析与保养维护

: / DOI１０．１１９７３lh Ｇwl２０１７０２０１１　 jy Quanta４００F扫描电子显微镜的故障分析与保养维护 , , , , 姚丽娟龙伟靳长清金耀华朱满　　 ( , ) 西安工业大学材料与化工学院西安７１００２１ : , 摘要 Quanta４００F扫描电镜为常规的大型精密仪器在运行过程中常常会出现各种设备故　 . , . 障做好扫描电镜日常管理工作可提高其各部件的使用寿命主要介绍了该扫描电镜一些常见 , ; 的故障及排除方法包括冷却循环系统故障和真空系统故障另外还介绍了扫描电镜易耗损件的保 , . 养维护措施包括灯丝和物镜光阑的保养及维护 : ; ; 关键词扫描电镜故障分析保养维护中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TQ１７４　　　 A　　　１００１Ｇ４０１２２０１７０２Ｇ０１２０Ｇ０３ FaultAnalsisandMaintenanceof uanta４００FScannin ElectronMicroscoe y Q g p , , , , YAOLiＧuan LONGWeiJINChanＧin JINYaoＧhua ZHUMan j gq g ( , ’ , ’ , ) SchoolofMaterialsandChemicalEnineerin XianTechnoloicalUniversit Xian７１００２１ China g g g y Abstract: , Quanta４００scannin electronmicroscoeisalarescale recisioninstrument andvarious g p g p euimentfaultswouldoccuroccasionalldurin theoeration．The ooddailmaintenanceandmanaementofthe q p y g p g y g scannin electronmicroscoeca