Kinoform单透镜的硬X射线聚焦性能.pdfVIP

物 理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．64，No--16(2015) 164104 Kinoform单透镜的硬X射线聚焦性能冰 陈直1)2) 许 良)2) 陈荣昌) 杜国浩 ) 邓彪 ) 谢红兰 ) 肖体乔 )2)十 1)(中国科学院上海应用物理研究所，上海 201800) 2)(中国科学院大学，北京 100049) (2015年2月10日收到；2015年3月25日收到修改稿) Kinoform单透镜可以高效聚焦硬X射线至纳米量级，在X射线纳米显微学和纳米光谱学领域有着重要 的应用前景．基于衍射光学和傅里叶光学理论，给出了x射线经由Kinoform单透镜聚焦的物理模型，基于数 值模拟，研究了不同材料、光子能量、台阶数量和顶点曲率半径对Kinoform单透镜聚焦性能的影响．结果表 明，孔径为1mm的Kinoform单透镜对30kev的X射线聚焦，可 以得到14nlTl焦斑、62 m焦深，且可实现4 个量级的光强增益和大于30％的光强透过率． 关键词：硬x射线，Kinoform，聚焦，物理光学 PACS：41．50．+h，78．20．Bh，42．25．Bs DOI：10．7498／aps．64．164104 X射线的聚焦．应用于纳米聚焦的K．B镜需要极高 1 引 言 的加工质量和装配精度 l【0】． x射线复合折射透镜 由多个完全相同[13]或者 近年来，随着低发射度电子加速器的发展 [1】 孔径匹配 M【】的凹透镜组合而成，其设计和定位相 尤其是衍射极限储存环 (diffraction-limitedstorage 对简单，从而得到了广泛应用 [15]．从理论上讲，复 rings，DLSRs)的出现[2】同步辐射x射线光束的 合折射透镜适用于从低能4keV到高能1MeV的整 相干性逐渐提高 引【，大幅提升了显微学和光谱学在 个硬X射线波段 [15]．早期的X射线折射透镜是在 纳米空间尺度上的研究能力，在材料结构与动力 铍、硼、石墨、铝和高分子材料上打圆孔 [15]，形成 学、生物物理与蛋 白质晶体学、地球物理与环境科 柱面透镜组，实现一维聚焦，或者正交放置两个透 学等诸多领域不断取得新的研究成果 4【—7]．X射线 镜组 [16】，实现二维聚焦．为了提高二维聚焦的性 纳米显微学和纳米光谱学不仅要依靠性能优 良的 能，提出了玻璃管塑料球透镜．然而，成像实验结 光源，还需要能高效聚焦x射线的光学器件．在过 果表 明，这种透镜会产生强烈的球差 [1r1．针对这 去的十年里，波带片 8【】、劳厄镜 9【]、全反射镜 1【o】以 一 问题，Lengeler等 [18]使用压铸工艺制作的抛物 及折射透镜 [11]在制造技术和应用方面都取得 了长 面折射透镜在2—50keV范围内实现了无像差显微 足进步，其聚焦光斑尺寸均可达纳米量级．波带片 成像，并获得了100nm空间分辨率的全场放大显 和劳厄镜同属衍射聚焦器件，其聚焦光斑尺寸受到 微断层像 [19】．但是，由于凹透镜边缘厚度对X射线 最外层条纹宽度 的限制，并且衍射效率低于30％， 具有强吸收，复合折射透镜的数值孔径无法通过增 工作的光子能量范围小于20keV[12】．全反射镜主 大几何孔径的方法获得进一步的提升．因此，小孔 要采用Kirkpatrick-Baez(K-B1镜的形式，由两块 径、短焦距 的折射透镜设计开始受到关注．Aristov 正交放置的凹面反射镜组成，在掠入射条件下实现 等 采用电子束光刻和等离子体刻蚀的方法，在 }国家自然科学基金 (批准号：81