第二章 扫描电子显微镜-2016-2017.pdfVIP

第二章第二章 扫描电子显微镜与电子探针扫描电子显微镜与电子探针 Scanning Electron Microscopy ＆Electron Probe 2.1 扫描电子显微镜 22.22 电子图像分析电子图像分析 2.3 电子探针的工作原理与结构 22.44 电子探针的分析方法及应用电子探针的分析方法及应用 李晶泽李晶泽 电子科技大学 微电子与固体电子学院 颜色变化：结构 vs. 粒径 2.1 扫描电子显微镜 一、扫描电子显微镜的发展历史一、扫描电子显微镜的发展历史 (1)(1)  发展的原动力 人眼的分辨本领人眼的分辨本领：00.11 mmmm 光学显微镜光学显微镜 放大镜：几十倍 绿光绿光=550nm NA=1.4 d = / 2NA = /2 n Sin 光学显微镜的最大放大倍光学显微镜的最大放大倍 率约为2000倍，分辨率约 为200nm 。 ？ 扫描电子显微镜的最大放扫描电子显微镜的最大放 大倍率约为20万倍左右， 分辨率0.5nm左右。 一、扫描电子显微镜的发展历史一、扫描电子显微镜的发展历史 (2)(2)  电子的波长 德布罗意波德布罗意波：  = h/mV = h/p ; E = h;  = h(2emU)-1/2 电子的能量电子的能量：： 静电场：加速电压U 1/21/2mVV22 = eUU 高电压下高电压下，引入相对论修正引入相对论修正： U （kV) 20 50 100 200 1000 3000 ((nm)) 00.0085900859 00.0053600536 0000.0025100251 00.0008700087 00.0003600036 一、扫描电子显微镜的发展历史（一、扫描电子显微镜的发展历史（33 ））  发展历史 1931年，德国的克诺尔和鲁斯卡，用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装 了一台高压示波器，并获得了放大十几倍的图象，证实了电子显微镜放大成 像的可能性。 1932年，经过鲁斯卡的改进，电子显微镜的分辨能力达到了50纳米，约为当 时光学显微镜分辨本领的十倍，于是电子显微镜开始受到人们的重视。 上世纪60年代商业化  特点特点 制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大 复合化：扫描、透射、微区成分分析、电子背散射衍射、表面形貌、微区 成分、晶体结构分析 二、电子与样品物质的交互作用二、电子与样品物质的交互作用 基础知识 散射散射：： 电子束沿电子束沿一定的方向入射到试样定的方向入射到试样，，在原子库仑电场的作用下在原子库仑电场的作用下，， 入射电子改变其运动方向、损失其能量的现象，称为散射。 弹性散射弹性散射：： 电子改变其运动方向电子改变其运动方向，但能量不发生变化但能量不发生变化；； 非弹性散射：电子改变其运动方向、能量发生损失，转变为热、光、X 射线及二次电子发射等。 A）原子(核)对 B）原子实对电 C）核外电子对入射 电子的弹性散射电子的弹性散射 子的非弹性散射 电子的非弹性散射 入射电子 入射电子（轫致辐射） 入射电子 散射电子 能量 连续X射线