以SiHCl3和SiCl4的混合物为原料制备多晶硅热力学-中国有色金属学报.PDF

第 20 卷第 7 期 中国有色金属学报  2010 年 7 月  Vol.20 No.7  The  Chinese  Journal  of  Nonferrous Metals  July 2010  文章编号：1004­0609(2014)07­1907­08  以 SiHCl 和 SiCl 的混合物为原料制备多晶硅热力学 3  4  1,2  2, 3  2  2  2  侯彦青  ，谢 刚  ，俞小花  ，李荣兴  ，宋东明  (1.  昆明理工大学 省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室，昆明  650093；  2.  昆明理工大学冶金与能源工程学院，昆明  650093；  3.  云南冶金集团总公司 技术中心，昆明650031)  摘 要：根据相关热力学数据，首先计算并拟合得到 Si­Cl­H 三元系中气相 Cl 与 H 原子的摩尔比(n /n )与反应 Cl H 达到平衡时的气相 Si与 Cl原子的摩尔比  (n /n ) 的关系。 为了得到合理的 SiCl (STC)和 SiHCl (TCS)的进料配 Si Cl Eq  4  3  比，详细分析 TCS 与 STC 的 3 种配比(n /n 分别为 1/4、1 和 4)时温度、压强以及进料配比对 Si 沉积率的影 TCS STC  响。结果表明：以STC和 TCS 的混合物为原料时，最佳温度为 1400K，压强为 0.1MPa。为了保证硅产率达到可 工业化生产的 35%以上，当原料摩尔比(n /n )为 1/4 时，原料中 n /n 为 0.055；当原料摩尔比(n /n )为 1  TCS STC Cl H  TCS STC 时，原料中n /n 比为0.07；当原料摩尔比(n /n )为 4 时，原料中 n /n 为 0.09。随着硅原料中 TCS所占比例 Cl H  TCS STC Cl H  的增大，在较高的 n /n 下，就可以得到较高的硅产率。最后分析得到：当选定原料配比时，要得到合理的硅产 Cl H  率，所需要控制 n /n 的范围；当进料中 n /n 一定时，要得到合理的硅产率，需选择原料配比的理想范围。 Cl H  Cl H  关键词：西门子法；SiHCl ；SiCl ；多晶硅；硅产率