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利用电容结构改善太赫兹信号与检测器的耦合-太赫兹科学与电子信息学报
第 13 卷 第 1 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．13，No．1
2015 年 2 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Feb．，2015
文章编号：2095-4980(2015)01-0027-04
利用电容结构改善太赫兹信号与检测器的耦合
徐 磊，涂学凑，万 超，裴宇峰，康 琳，吴培亨
(南京大学 超导电子研究所，江苏 南京 210093)
摘 要 ：对于 THz 频段的检测器，当器件的尺寸远远小于检测信号的波长时，可以获得快速
的响应速度，但耦合信号的能力会下降。为了提高检测器的信号耦合能力，需要借助天线收集信
号。因此天线的性能直接决定着器件的响应频段及灵敏度等参数指标。六氮五铌(Nb N ) 微测热辐
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射计太赫兹检测器采用平面集成天线的方式来耦合信号，平面天线通过微加工技术，经过光刻、
剥离等过程，集成在基片上，Nb5 N6 置于平面天线的中心。针对 0.32 THz 的中心频率，尝试采用电
容耦合信号的设计方法，提高了 Nb5 N6 的信号耦合能力。
关键词 ：六氮五铌；太赫兹检测器；阻抗匹配；电容耦合；微测辐射热计
中图分类号 ：TN015 文献标识码 ：A doi ：10.11805/TKYDA201501.0027
Terahertz signal detector improvement based on capacitive coupling structure
XU Lei，TU Xuecou，WAN Chao，PEI Yufeng，KANG Lin，WU Peiheng
(Research Institute of Superconductor Electronics，Nanjing University，Nanjing Jiangsu 210093，China)
Abstract： A detector can achieve quick response when it is much smaller than the wavelength of the
source signal in THz wave band at the expense of signal coupling capability．Therefore, an antenna is
applied to collect signals in order to enhance the signal coupling capability of the detector．The properties
of antenna determine the frequency response band，the sensitivity and other parameters of the detector
directly. A planar-integrated antenna is adopted for signal acquisition in the Nb N microbolometer
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detec
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