反应溅射WS2MoS2C复合薄膜的摩擦磨损性能-中国有色金属学报.PDF

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2017-05-27 发布于天津
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反应溅射WS2MoS2C复合薄膜的摩擦磨损性能-中国有色金属学报

第 20 卷第 3 期中国有色金属学报 2010 年 3 月 Vol.20 No.3 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Mar. 2010 文章编号：1004-0609(2010)03-0483-05 反应溅射WS /MoS /C 复合薄膜的摩擦磨损性能 2 2 1 2 1 1 1, 2 周磊，尹桂林，王玉东，余震，何丹农 (1. 上海交通大学材料科学与工程学院，上海 200240 ； 2. 上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心，上海 200241) 摘要：为了扩展在潮湿条件下 WS /MoS 复合薄膜的应用，使用 WS /MoS 作靶材，在 Ar/C H 气氛中通过反 2 2 2 2 2 2 应溅射法制备 WS /MoS /C 复合薄膜。利用 X 射线衍射仪(XRD)、X 射线能谱仪(EDX)、场发射扫描电子显微镜 2 2 (FESEM)、MFT-4000 材料表面性能试验仪表征薄膜的性能以便评价薄膜的微结构与摩擦性能的关系。结果表明：与纯 MoS 薄膜相比，WS /MoS /C 复合薄膜结构致密，硬度提高一个数量级；在潮湿的大气中复合薄膜的摩擦因 2 2 2 数更低，抗磨损能力更强。关键词：WS ；MoS ；C ；摩擦性能；磨损性能 2 2 中图分类号：TQ174; TH117.3 文献标识码：A Tribological and wear properties of reaction-sputtered WS /MoS /C composite films 2 2 1 2 1 1 1, 2 ZHOU Lei , YIN Gui-lin , WANG Yu-dong , YU Zhen , HE Dan-nong (1. School of Materials Science and Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, China; 2. National Engineering Resear