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基于K参数思想的快速三维互连电感电阻提取算法-清华大学
第 8 期 电 子 学 报 Vol . 33 No . 8
2005 年 8 月 ACTA ELECTRONICA SINICA Aug. 2005
基于 K 参数思想的快速三维互连电感电阻提取算法
魏洪川 ,喻文健 ,杨 柳 ,王泽毅
(清华大学计算机科学与技术系 ,北京 100084)
摘 要 : 在 GHz 以上高频集成电路中 , 电感寄生效应已严重影响了电路性能 ,必须研究有效的算法提取互连电
( )
感电阻. 本文基于 K 参数 电感矩阵的逆 较好的局部化特性 ,提出适应高频情况的互连电感电阻提取算法. 通过采用
有效的窗口选择技术和导体细丝划分 , 以及在细丝电感计算复用和导纳矩阵求逆两方面的改进 ,本文算法可有效处理
复杂的多层互连结构 ,在保持较好精度的情况下 ,计算速度比 FastHenry 快上百倍.
关键词 : 三维互连 ; 电感电阻提取 ; K 参数 ; 高频率 ; 窗口技术
中图分类号 : TN47 文献标识码 : A 文章编号 : (2005)
Fa st Induct ance and Re si st ance Extraction of 3D VL SI Int erconnect s
Ba se d on the Metho d of K Element
WEI Hongchuan ,YU Wenj ian ,YAN G Liu ,WAN G Zeyi
( )
Dep artment of Comp uter Science and Technology , Tsinghua University , Beij ing 100084 , China
Ab stract : In the integrated circuits with frequency above several GHz ,parasitic inductive effect has greatly influenced the cir
cuit performance ,therefore requiring efficient algorithm for extraction of frequencydependent inductance and resistance . Based on good
localization property of the K element (inverse of the partial inductance method) ,a fast algorithm for interconnect inductance and re
sistance extraction is proposed in this paper . With an efficient window selection technique ,filament partitioning ,and two improvements
on calculating filament inductance and inverting the global adm
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