摘要-浙江大学信电系.PDF

浙江大学硕士学位论文 摘要 摘 要 激光与核能、半导体、计算机并称为 20 世纪的四大发明，对人类社会的发 展产生了深远影响。激光具有单色性好、相干性强、方向性好的优点，通过聚焦 可以得到高功率密度细束斑的激光束，从而对材料进行精细加工，与现代计算机 数控技术相结合,激光微细加工技术拥有传统加工技术无法比拟的优势，成为当 代工业生产的一项重要技术。 本论文探索了激光微细加工技术在电子工业中的若干应用，重点对激光微调 石英晶振频率、激光刻蚀GPS介质加载四臂螺旋天线、激光制作高密度柔性印刷 电路板进行了研究，论文工作取得的主要成果有： 1.采用激光刻蚀技术对石英晶振进行了频率微调，优化了激光参数，使这一 技术达到实用化。 石英晶振需要有高精准的频率，频率微调是制造晶振的关键工艺之一。现有 的调频技术主要是镀膜调频和离子刻蚀调频，其缺陷在于只能一片一片进行调 频，生产效率低下，很难满足现代化生产需求，并且需要掩膜板和真空设备，膜 层结合力也很差，所以调频工艺已经成为目前制约晶振生产的瓶颈。本课题将激 光微细刻蚀技术应用于石英晶振的频率微调，用一定能量的激光束对石英晶振的 电极膜进行刻蚀减薄，使晶振频率精确地升高到标称值，由于激光束能在很宽的 尺寸范围进行快速扫描，并且能实时控制通断，因而可实现多组石英晶片同时调 频，大幅度提高生产效率。 通过大量实验，研究了不同工作电流和 Q 脉冲宽度的激光束对晶振频率的微 调量和其它电性能参数的影响，优化了工艺参数，在此参数下，晶振的频率微调 量与刻蚀次数近似呈线性关系，微调量易于控制，而晶振的动态电阻动态电感等 其它电性能参数不会产生大的改变。这一研究在国内尚属首次，有重要应用价值， 相关研究成果发表在“真空科学与技术月报”（EI ）上，并获得“2009 华东三省 一市真空学术年会”的优秀论文奖。 浙江大学硕士学位论文 摘要 2. 提出了一种磁控溅射与激光刻蚀相结合来制备介质加载四臂螺旋天线的 完整工艺技术。 四臂螺旋天线是全球定位系统中的重要部件，负责射频信号的收发。介质加 载四臂螺旋天线的结构是在圆柱形陶瓷侧面布置四条螺旋线形金属导体，顶部布 置馈电电路，这种立体结构图形几乎无法采用常规的光刻工艺进行制备。本课题 将激光束扫描于步进马达带动的镀有金属层的陶瓷圆柱上，刻蚀出螺旋图形，成 功地解决了这一技术难题。 论文还用移相芯片实现馈电信号的正交，使用 ADS 软件对 GPS 介质加载四 臂螺旋天线进行了设计与仿真，设计结果比较理想，四个馈电信号主要 S 参数的 幅值分布在 0.433-0.467 之间，理想值为 0.5，相位最大偏差小于 1°，误差在可 以接受的范围内。 3. 开发出了一种激光制作高密度柔性印刷电路板的绿色工艺方法。 芯片级封装(CSP)、多芯片模块(MCM) 以及柔性线路板上芯片封装(COF)等都 要用到柔性线路，柔性线路板是增长速度位居第二的新型集成电路封装。柔性覆 铜板是在聚酰亚胺衬底上压覆或镀覆铜膜而成，现有柔性电路板的制作工艺大多 仍沿用传统的光刻技术，工艺复杂，成本昂贵，还存在三废污染。 本论文开发出一种能够在柔性覆铜板上快速制备高密度柔性印刷电路板的 绿色工艺方法，利用铜和聚酰亚胺的域值不同、对激光波长的敏感度不同，将激 光束按照事先编好的程序扫描于柔性覆铜板上，使某部分的铜膜气化，从而制备 出印刷电路板，由于激光束可以聚焦到几个微米，所以能制备出高密度的柔性线 路。这一工艺的优越性在于工艺简单快捷，成本低廉，没有三废污染。此外，我 们还提出了一种利用激光在透明基体上直接精确地生成所需电路图案的工艺，该 方法的创新之处在于将薄膜制备和薄膜成形合二为一，目前尚未见到类似方法的 报到。 关键词：激光加工，激光刻蚀，石英晶振，频率微调，GPS，介质加载四臂螺旋 天线，馈电网络，磁控溅射，激光快速布线，柔性覆铜板 浙江大学硕士学位论文 作者简历及在校期间所取得的科研成果