柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用.PDF

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２４ ５ Ｖｏｌ．２４Ｎｏ．５ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００９ １０ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ｏｃｔ．２００９ ｑ ｙ ｐ ｙ 文章编号： （ ） １００７２７８０２００９０５０６７５０６ 柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用 ， ， ， ， １ １２ １２ １２ １２ 邵景珍 ，董伟伟 ，陶汝华 ，邓赞红 ，方晓东 （ 中国科学院 安徽光学精密机械研究所，安徽 合肥 ， ： ； １． ２３００３１Ｅｍａｉｌ ｚｓｈａｏ ｍａｉｌ．ｕｓｔｃ．ｅｄｕ．ｃｎ 　 ｊ ＠ ２．中国科学院 等离子体物理研究所 新型薄膜太阳电池重点实验室，安徽 合肥　２３００３１） 摘 要：柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐，在 　 塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导 电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点，总结了近年来对柔性衬底的处理方法，最后对柔性透 明导电氧化物薄膜在各个领域的开发应用和未来的重点研究方向进行了展望。 关 键 词：透明；导电；氧化物薄膜；柔性衬底 　 　 中图分类号：ＴＮ３０４ 文献标识码：Ａ 　　　 采用喷射热分解法获得了电阻率为 －４ · ７．６×１０ Ω １ 引 言 　 　　 ，透过率 的 （ ）薄膜。玻璃 ｃｍ ＞８５％ ＺｎＯ∶ＧａＧＺＯ 透明导电氧化物 （ＴｒａｎｓａｒｅｎｔＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅ 等硬质衬底材质脆，不能弯曲，在某些方面限制了 ｐ ， ）因其可见光透过率高、电阻率低等 透明导电氧化物薄膜的应用。在柔性衬底上（如 Ｏｘｉｄｅ ＴＣＯ 特点得到越来越广泛的重视，应用范围十分广泛。 塑料、橡胶等）制备的 ＴＣＯ膜具有可折叠、重量 ［］ 自 年 １ 利用 制备出第一块透 轻、不易碎、易于大面积生产、便于运输和设备投 １９０７ Ｂａｄｅｋｅｒ ＣｄＯ 明导电膜至今，用于制备透明导电膜的材料已涵 资少等优点，可广泛应用于平板显示器、太阳能电 盖 ， ， ， 多种氧化物及多元复合氧化物， 池、农用透明隔热保温塑料大棚等领域。 ＩｎＳｎＺｎ