离子轰击在玻璃蒸发镀膜中的应用量竺幽，畦盘击.PDF

重庆 建 筑大 学 学报 V01．1丁 N0．3 Journal of Chongqing Manzhu University Sep．1995 问 一 第 离子轰击在玻璃蒸发镀膜中的应用 ” 荤 第目 堡垩丑 ，r J7／_72 期 (安散建筑工业学院) 摘 要 提出了在蒸发镀膜玻璃中引入离子轰击的方法，阐述了蒸发镀膜过程中 离子轰击的工作原理，并运用断面电子描描显微观察，评价了离子轰击对薄膜附着 性能的影响。 量竺 幽，畦盘击 中图法分类号 TQI71．72 一 · 建筑镀膜玻璃的生产主要有两种方式，即蒸发镀和磷控溅射镀。蒸发镀相对后者而言主 要存在着膜层附着性能差的问题，这是制