第二节原子及分子的吸附.PDF

薄膜工程 周麗新 第二節　原子及分子的吸附 　　原子及分子在物體表面的吸附可分為四種形式 ： (1) 物理吸附(Physical adsorption 或physisorption) 　　吸附體 (adsorbate) 藉凡得瓦力 (van der waals force) 吸附在物體表面 上稱物理吸附 。由於作用力為超距力 ，因此在較高壓力下 ，可形成多層 吸附 。 　　吸附體的物理吸附能較低 ，約小於0.5eV/atom ，與其氣相原子凝結 熱相當 。 化學吸附 (2) (Chemisorption) 　　化學吸附可視為吸附體分子與物質表面原子 ，藉著一個或多個電子 軌道的重疊 ，而進行的一種化學反應。化學吸附有極高的方向性 ，一般 限制在表面單層 。 　　化學吸附鍵能很高 ，與自由分子中的主要化學鍵結能相當。 　　由於表面位置並非完全相同 ，原子在表面上的吸附熱，會隨著氣體 吸附量的增加而減少 ，如圖六十一所示，圖六十一中吸附熱隨表面覆蓋