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双叠层结构有两种：一种是两层结构使用相同的非晶硅材料；另一种是上层使用非晶硅合金，下层使用非晶硅锗合金以增加对长波光的吸收，三叠层与双叠层类似。上层电池使用宽能隙的非晶硅合金做本征层，吸收蓝光光子，％的中等带隙的非晶硅锗合金以吸收红光。中间层用含锗约15玻璃衬底的非晶硅太阳电池，光从玻璃面入射，电流从透明导电膜和电极铝引出。不锈钢衬底非晶硅电池同单晶硅c—si电池类似，在透明导电膜上制备梳状银电极，电池电流从银电极和不锈钢引出。 非晶硅太阳电池的应用 非晶硅电池厂房 非晶硅电池板 3.4.2 非晶硅太阳电池的制备工艺 非晶硅是由气相沉积法制备的，气相沉积法可分为辉光放电分解法、溅射法、真空蒸发法、光化学气相沉积(Photo CVD)和热丝法等。等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)已经普遍被应用，在PECVD沉积非晶硅的方法中，PECVD的原料气一般采用SiH4和H2，制备叠层电池时用Sil 和GeH ，加入SiH4和 GeH4 可同时实现掺杂。SiH4和 GeH4 在低温等离子体的作用下分解产生a—Si或a—SiGe薄膜。PECVD法具有许多优点，如低温工艺和大面积薄膜的生产等，适合于大面积生产。 制备工艺 把硅烷(SiH4)等原料气体导入真空度保持在10-1000Pa的反应室中，由于射频(RF)电场的作用,产生