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维普资讯 1S蝴 年 第 3期 光 通 信 研 究 (总第 87期) STUDYON 0PTICALCOMMUNICA丁l0NS S… NO 87 11I—V族化合物半导体外延晶片的质量评估 ／— — 、 丁 国 庆 (武汉邮电科学研究院 430074) 3口 t 摘 要 本文介绍 了影响半导体异质外延晶片质量的主要因素，检剥方法 ．几个典型测试 结果 最后给 出了几个外延 晶片材料质量评估 的参照标准 。 。 63 关键词 墨堕丝盐拭盐 位错与缺陷 X射线双晶衍射 垄墓垄堂 中图分类号 0471．4 I 铹