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大连理工大学研究生试卷 类别 标准分数 实得分数 平时成绩 作业成绩 总分 授课教师 签 字 系 别： 机械工程学院课程名称：微制造与微机械电子系统 学 号： 姓 名： 张良 考试时间： 2017年 1月 13 日  微流控系统温度测量控制技术 该装置和显微镜作为基本实验装置，加图像采集卡，组合成非接触的荧光指示测温装置，可以得出微流体的温度场数据以及其随着时间的变化趋势。提出透明氧化铟锡玻璃加热元件，采用控制算法，组成一个可靠的温度控制系统，精度可达±0.1采用测温可以测得玻璃微流控芯片的通道内温度场在时间空间上的变化情况。实验结果表明，该方法可靠，达到μm的空间分辨率和ms级时间分辨率。 温度测量；玻璃 中图分类号：TH811 Temperature Measurement and Control Technology of Microfluidic System Abstract：In this paper, a simple structure, low cost, easy operation, can be used in microfluidic chip system temperature measurement and temperature control device is studied. This system uses CCD camera and microscope as the basic experimental device, and adds the image acquisition card to construct the non-contact fluorescent indicator temperature measurement device, and realizes the measurement of the micro-fluid space temperature field and the change tendency with time. The transparent indium tin oxide thin film glass is used as the heating element, and the PID control algorithm is adopted to form a complete temperature control platform. The steady state accuracy can reach ± 0.1 ℃. The experimental results show that this method is effective and can achieve the spatial resolution of m level and the time resolution of ms level. The experimental results show that this method is effective and can be used to measure the spatial resolution of the microchannel. Key words：microfluidic chip temperature measurement indium tin oxide thin film glass CCD camera 1 前言 温度是生物化学的重要参数，微流控芯片在生物化学分析领域中的应用，中温度的精确测量和控制也变得愈加重要的温度测量技术应该具备性能（）不产生干扰，即不影响微流体自身温度；（）微米级的空间分辨率（）范围要，至少在100℃之间；（）相对简单，容易操作；（）。由于微流控微流体的体积在μLnL数量级，若采用传统的传感器方式液体进行接触测量，会因为探头的太大而使周围液体实际温度发生改变，并引起测量误差测量精度的降低降低测温元件对温度测量的影响，有报道温度敏感元件采用加工手段在芯片上，由此提高测量精度这种方式仍然接触测温所测得实际温度仍然有的误差，并且对加工工艺要求较高，在非专业的微加工实验室中加工仍然有一定的难度。 可以看出同微流体的测方式会与微流体的温度存在一定的偏差，因此一些的温度测量方式被应用到微流控芯片系统中其中的的荧光强度变化来测温的，不存在染料通道问题本章以和显微镜作为基本实验装置，对应用于微流控芯片系统的荧光指示剂测温技术进行研究。目标是非接触的测量方式实现对微流控芯片上一个较大区域的温度，对控温技术也进行一定的研究。 2荧光指示剂的微流体测