第3章电容式传感器MOOC3_1_02.pdfVIP

传感器技术 主讲人： 吴琼水 武汉大学电子信息学院 第3章 电容式传感器 电容式传感器 3.1 电容式传感器的工作原理 3.2 电容式传感器的测量电路 3.3 电容式传感器的误差分析 3.4 电容式传感器的应用示例 3.1 工作原理 S ε ⋅ ε ⋅ S C = ε = 0 r d d 等式右边的三个参数改变任何一个都可以使电容值C发生变化。 这就是电容传感器的基本工作原理。 电容式传感器 变面积型 变介电常数型 变极板间距型 变介质型电容传感器 S C = ε