一种牺牲层工艺中金属电极保护方法研究（英文）.pdf

40 1 电 子 器 件 Vol. 40 No. 1 第 卷 第 期 20 17 2 Chinese Journal of Electron Devices Feb． 20 17 年 月 * A Method of Metal Electrode Protection in Sacrificial Etching Process ZHANG Zhaoyun1，2* ，TANG Bin1，2 ，PENG Bo 1，2 ，CHEN Yinhui1，2 ， XIONG Zhuang 1，2 ，SU Wei1，2